Электронная библиотечная система КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА
STUDENT'S CONSULTANT
Все издания
Accessibility

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Ч. 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование

Для каталогаКоролёв, М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 ч. Ч. 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М. А. Королёв, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева; под общ. ред. Ю. А. Чаплыгина. - 4-е изд. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 400 с. Систем. требования: Adobe Reader XI ; экран 10". - ISBN 978-5-00101-814-8. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785001018148.html (дата обращения: 08.04.2025). - Режим доступа : по подписке.
АвторыКоролёв М.А., Крупкина Т.Ю., Ревелева М.А.
ИздательствоЛаборатория знаний
Тип изданияучебное пособие
Год издания2020
ПрототипЭлектронное издание на основе: Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : в 2 ч. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М. А. Королёв, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева ; под общ. ред. чл.-корр. РАН проф. Ю. А. Чаплыгина. - 4-е изд., электрон. - М. : Лаборатория знаний, 2020 - 400 с. - Систем. требования: Adobe Reader XI ; экран 10". - Загл. с титул. экрана. - Текст : электронный. - ISBN 978-5-00101-814-8.
Озвучить текст
АннотацияДано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.<br> Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Гриф
Рекомендовано Учебно-методическим объединением вузов Российской Федерации по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 (200100) "Микроэлектроника и твердотельная электроника"
Downloaded 2020-12-09