Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии. Кн. 3
Для каталогаПанфилов, Ю. В Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии. В 17 кн. Кн. 3 : учеб. пособие / Ю. В. Панфилов, К. М. Моисеев, В. П. Михайлов - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 192 с. (Библиотека "Наноинженерия") - ISBN 978-5-7038-3494-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785703834947.html (дата обращения: 04.04.2025). - Режим доступа : по подписке.
АвторыПанфилов Ю.В., Моисеев К.М., Михайлов В.П.
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебное пособие
Год издания2011
ПрототипЭлектронное издание на основе: Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : учеб. пособие / Ю.В. Панфилов, К.М. Моисеев, В.П. Михайлов. - М. : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. - 192 с. : ил. (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. Кн. 3). - ISBN 978-5-7038-3494-7.
АннотацияМетодические материалы по дисциплине "Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии" содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. <br>Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки "Нанотехнология" с профилем подготовки "Наноинженерия". Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.
ГрифДопущено учебно-методическим объединением вузов по университетскому политехническому образованию в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия"
Downloaded 2019-09-04