Формирование функциональных слоев
Для каталогаПанфилова, Ю. В. Формирование функциональных слоев : учебное пособие / Ю. В. Панфилов. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 90 с. - ISBN 978-5-7038-5350-4. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785703853504.html (дата обращения: 03.04.2025). - Режим доступа : по подписке.
АвторыЮ. В. Панфилов
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебное пособие
Год издания2020
ПрототипЭлектронное издание на основе: Формирование функциональных слоев : учебное пособие / Ю. В. Панфилов. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 90, [2] с. : ил. - ISBN 978-5-7038-5350-4.
АннотацияДано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микроинаноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. <br>Для студентов, обучающихся по направлениям "Наноинженерия" и "Электроника и наноэлектроника".
Загружено 2021-10-01