Физика высокочастотного емкостного разряда
Для каталогаСавинов, В. П Физика высокочастотного емкостного разряда / Савинов В. П - Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2013. - 308 с. - ISBN 978-5-9221-1551-3. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785922115513.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.
АвторыСавинов В.П
ИздательствоФизматлит
Тип изданиямонография
Год издания2013
ПрототипЭлектронное издание на основе: Савинов В.П. Физика высокочастотного емкостного разряда. - М.: ФИЗМАТЛИТ, 2013. - 308 с. - ISBN 978-5-9221-1551-3.
АннотацияПодробно описаны физический механизм высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР) низкого и среднего давления и свойства плазмы разряда. Исследованы основные свойства и характеристики ВЧЕР, особенности электрического пробоя в высокочастотном поле. Предлагается новая классификация ВЧЕР, частота ВЧ-поля трактуется как фундаментальный параметр разряда. Детально рассмотрены свойства приэлектродных слоев пространственного разряда, природа электрического поля в них, процессы транспорта заряда на электроды. Граничные эффекты во ВЧЕР рассматриваются с учетом таких ранее неизвестных эффектов, как дискретный механизм транспорта электронов плазмы на электроды, краевой эффект и др. Особое внимание уделено обнаруженному явлению возникновения приэлектродных электронных пучков. Исследованы свойства плазмы ВЧЕР при различных режимах разряда. Подробно рассмотрены методы диагностики ВЧЕР. Монография рассчитана на научных работников, занимающихся физикой газового разряда и низкотемпературной плазмы, аспирантов и студентов соответствующих специальностей.
Загружено 2016-09-19