Электронная библиотечная система КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА
ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Все издания
    шрифт
  • en
Версия для слабовидящих

Современное технологическое оборудование для микроэлектроники

Для каталогаКамлюк, В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. - Минск : РИПО, 2022. - 266 с. - ISBN 978-985-895-032-3. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9789858950323.html (дата обращения: 06.04.2025). - Режим доступа : по подписке.
АвторыВ. С. Камлюк, Д. В. Камлюк
ИздательствоРИПО
Тип изданияучебное пособие
Год издания2022
ПрототипЭлектронное издание на основе: Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. - Минск : РИПО, 2022. - 266 с. : ил. - ISBN 978-985-895-032-3.
Озвучить текст
АннотацияВ пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.
Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям "Автоматизация технологических процессов и производств", "Мехатроника", "Микроэлектроника".
Гриф
Рекомендовано учреждением образования "Республиканский
институт профессионального образования" Министерства
образования Республики Беларусь в качестве пособия для учащихся учреждений образования, реализующих образовательные программы среднего специального образования по специальностям "Автоматизация технологических процессов и производств", "Мехатроника", "Микроэлектроника"
Загружено 2023-04-19