Справка
ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Электронная библиотека технического вуза
Все издания
Вход / регистрация
Во весь экран / Свернуть
en
Версия для слабовидящих
Каталог
Все издания
Меню
Искать в книге
К результату поиска
Расширенный поиск
Закладки
На главную
Вход / регистрация
Во весь экран / Свернуть
en
Управление
Мои отчеты
Каталог
Издательства
УГС
Мои списки
Скачать приложение
Процессы и оборудование микротехнологии: Модули 1 и 2
Оборот титула
Оглавление
Предисловие
Введение
Модуль 1. Технологический анализ изделий микротехнологии
+
Модуль 2. Изготовление монокристаллических кремниевых пластин
-
2.1. Кремниевые пластины как объект производства
2.1.1. Электрические параметры
2.1.2. Геометрические параметры
2.2. Получение монокристаллического кремния
2.2.1. Этапы производства кремния
2.2.2. Выращивание монокристаллов
2.2.3. Обработка кремниевых слитков и пластин
2.3. Термическое оксидирование кремния
2.3.1. Свойства диоксида кремния
2.3.2. Структура диоксида кремния
2.3.3. Получение диоксида кремния термическим оксидированием
2.3.4. Стадии оксидирования
2.3.5. Модель роста оксида Дила - Гроува (Deal - Grove)
2.3.6. Промышленная реализация термического оксидирования
Заключение
Задания для самостоятельной работы и самоконтроля
Ресурсы сети Интернет к модулю 2
Close Menu
Раздел
4
/
4
Страница
14
/
61
Модуль 2. Изготовление монокристаллических кремниевых пластин
/
/
Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Для продолжения работы требуется
Регистрация
Каталог
Издательства
УГС
Мои списки
Скачать приложение
Процессы и оборудование микротехнологии: Модули 1 и 2
Оглавление
Предисловие
Введение
Модуль 1. Технологический анализ изделий микротехнологии
+
Модуль 2. Изготовление монокристаллических кремниевых пластин
-
2.1. Кремниевые пластины как объект производства
2.1.1. Электрические параметры
2.1.2. Геометрические параметры
2.2. Получение монокристаллического кремния
2.2.1. Этапы производства кремния
2.2.2. Выращивание монокристаллов
2.2.3. Обработка кремниевых слитков и пластин
2.3. Термическое оксидирование кремния
2.3.1. Свойства диоксида кремния
2.3.2. Структура диоксида кремния
2.3.3. Получение диоксида кремния термическим оксидированием
2.3.4. Стадии оксидирования
2.3.5. Модель роста оксида Дила - Гроува (Deal - Grove)
2.3.6. Промышленная реализация термического оксидирования
Заключение
Задания для самостоятельной работы и самоконтроля
Ресурсы сети Интернет к модулю 2
