Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
Для каталогаСагателян, Г. Р. Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра : учебное пособие / Сагателян Г. Р. , Макушина Н. В. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2006. - 50 с. - ISBN 5-7038-2926-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN5703829267.html (дата обращения: 05.04.2025). - Режим доступа : по подписке.
АвторыСагателян Г.Р., Макушина Н.В.
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебное пособие
Год издания2006
ПрототипЭлектронное издание на основе: Сагателян Г.Р., Макушина Н.В. Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра: Учеб. пособие. - М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2006. - 50 с.: ил. ISBN 5-7038-2926-7.
АннотацияПриведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности "Проектирование и производство электронной аппаратуры" и "Проектирование и технология радиоэлектронных средств", изучающих курс "Микроэлектроника". Ил. 17. Табл. 8.
Downloaded 2015-04-17