Раздел 3 / 6

Страница 1 / 13

2. Особенности описания и основные группы геометрических параметров пластин

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Registration

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра

Table of contents

Введение

1. Требования к полированным пластинам монокристаллического кремния

2. Особенности описания и основные группы геометрических параметров пластин -

2.1. Геометрический рельеф поверхности пластины в прижатом состоянии

2.2. Толщина и однородность распределения толщины по площади пластины

2.3. Геометрическая форма пластины в свободном состоянии и рельеф поверхности

2.4. Доля годной поверхности

3. Новое в технологии обработки кремниевых пластин

4. Требования к пластинам из сапфира

5. Экономическая целесообразность перехода к пластинам больших диаметров