accurateTrackBounce:true, webvisor:true }); ateTrackBounce:true, webvisor:true }); eTrackBounce:true, webvisor:true }); ckBounce:true, webvisor:true }); Bounce:true, webvisor:true }); unce:true, webvisor:true }); oscript>
cript>
div> v> t="" title="" src="https://mc.yandex.ru/watch/87744885" style="position:absolute; left:-9999px;"> "" title="" src="https://mc.yandex.ru/watch/87744885" style="position:absolute; left:-9999px;"> itle="" src="https://mc.yandex.ru/watch/87744885" style="position:absolute; left:-9999px;"> le="" src="https://mc.yandex.ru/watch/87744885" style="position:absolute; left:-9999px;"> ="" src="https://mc.yandex.ru/watch/87744885" style="position:absolute; left:-9999px;"> on:absolute; left:-9999px;"> :absolute; left:-9999px;"> bsolute; left:-9999px;"> olute; left:-9999px;"> ute; left:-9999px;"> ft:-9999px;"> :-9999px;"> 9999px;"> "> g> div> dentlibrary.ru/patrns/rds_defaults_12.jsntlibrary.ru/patrns/rds_defaults_12.jslibrary.ru/patrns/rds_defaults_12.jsbrary.ru/patrns/rds_defaults_12.jsary.ru/patrns/rds_defaults_12.jspatrns/rds_defaults_12.jstrns/rds_defaults_12.jsns/rds_defaults_12.jsdefaults_12.jsfaults_12.jsts_12.js_12.js2.jsstudentlibrary.ru/patrns/rds_defaults2_12.jsudentlibrary.ru/patrns/rds_defaults2_12.jsentlibrary.ru/patrns/rds_defaults2_12.jstlibrary.ru/patrns/rds_defaults2_12.jsibrary.ru/patrns/rds_defaults2_12.jsru/patrns/rds_defaults2_12.js/patrns/rds_defaults2_12.jsatrns/rds_defaults2_12.jsds_defaults2_12.js_defaults2_12.jsaults2_12.jslts2_12.jss2_12.jsr.studentlibrary.ru/patrns/search_prompts_12.jsstudentlibrary.ru/patrns/search_prompts_12.jsudentlibrary.ru/patrns/search_prompts_12.jsentlibrary.ru/patrns/search_prompts_12.jstlibrary.ru/patrns/search_prompts_12.jsy.ru/patrns/search_prompts_12.jsru/patrns/search_prompts_12.js/patrns/search_prompts_12.js/search_prompts_12.jsearch_prompts_12.jsh_prompts_12.jsprompts_12.jsompts_12.jsior.studentlibrary.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsr.studentlibrary.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsstudentlibrary.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsudentlibrary.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsentlibrary.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsary.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsy.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsru/patrns/mb4x_doc2_12.jsns/mb4x_doc2_12.js/mb4x_doc2_12.jsx_doc2_12.jsdoc2_12.jsc2_12.jsentlibrary.ru/patrns/CustomEvent_12.jstlibrary.ru/patrns/CustomEvent_12.jsibrary.ru/patrns/CustomEvent_12.jsrary.ru/patrns/CustomEvent_12.jsry.ru/patrns/CustomEvent_12.jsatrns/CustomEvent_12.jsrns/CustomEvent_12.jss/CustomEvent_12.jsmEvent_12.jsvent_12.js_12.js2.jsjsdentlibrary.ru/patrns/polyfill.min_12.jsntlibrary.ru/patrns/polyfill.min_12.jslibrary.ru/patrns/polyfill.min_12.jsbrary.ru/patrns/polyfill.min_12.jsary.ru/patrns/polyfill.min_12.jspatrns/polyfill.min_12.jstrns/polyfill.min_12.jsns/polyfill.min_12.jsfill.min_12.jsll.min_12.jsin_12.js_12.js2.jslibrary.ru/patrns/modernizer-custom_12.jsbrary.ru/patrns/modernizer-custom_12.jsary.ru/patrns/modernizer-custom_12.jsy.ru/patrns/modernizer-custom_12.jsru/patrns/modernizer-custom_12.jsns/modernizer-custom_12.js/modernizer-custom_12.jsodernizer-custom_12.jser-custom_12.js-custom_12.jstom_12.jsm_12.js12.jsudentlibrary.ru/patrns/slide_menu_12.jsentlibrary.ru/patrns/slide_menu_12.jstlibrary.ru/patrns/slide_menu_12.jsibrary.ru/patrns/slide_menu_12.jsrary.ru/patrns/slide_menu_12.js/patrns/slide_menu_12.jsatrns/slide_menu_12.jsrns/slide_menu_12.jsde_menu_12.js_menu_12.jsu_12.js12.js.jsrary.ru/patrns/bootstrap-native_12.jsry.ru/patrns/bootstrap-native_12.js.ru/patrns/bootstrap-native_12.jsu/patrns/bootstrap-native_12.jspatrns/bootstrap-native_12.jsbootstrap-native_12.jsotstrap-native_12.jsstrap-native_12.jsative_12.jsive_12.js12.js.jssentlibrary.ru/patrns/main_student_12.jstlibrary.ru/patrns/main_student_12.jsibrary.ru/patrns/main_student_12.jsrary.ru/patrns/main_student_12.jsry.ru/patrns/main_student_12.jsatrns/main_student_12.jsrns/main_student_12.jss/main_student_12.jsstudent_12.jsudent_12.jst_12.js12.js.jsntlibrary.ru/patrns/js/app.lang-switch_12.jslibrary.ru/patrns/js/app.lang-switch_12.jsbrary.ru/patrns/js/app.lang-switch_12.jsary.ru/patrns/js/app.lang-switch_12.jsy.ru/patrns/js/app.lang-switch_12.jstrns/js/app.lang-switch_12.jsns/js/app.lang-switch_12.js/js/app.lang-switch_12.js.lang-switch_12.jsang-switch_12.js-switch_12.jsscriptiptttps://prior.studentlibrary.ru/patrns/js/classie_12.jss://prior.studentlibrary.ru/patrns/js/classie_12.jsu/patrns/js/classie_12.jsatrns/js/classie_12.js { font-family::al,Verdana,Verdanardananaze: y tdtd { font-size: }t_9px{font-size:t-size:9px tdd { font-size:nt-size:} pxfont-size:t-size:ize:} px td{font-size:t-size:} pxfont-size:t-size:ize:} px td{font-size:t-size:} pxfont-size:t-size:ize:} px td{font-size:t-size:} pxfont-size:t-size:ize:} px td{font-size:t-size:} pxfont-size:t-size:-size:clFont_28px tdsolid #000000;background-color:#eeeeee;z-index:1027 !important;text-align:left; }y:block;padding:3px 7px 3px 7px; }px 3px 7px;background-color:#c6d8f7;}ckground-color:#c6d8f7;}ground-color:#c6d8f7;}color:#c6d8f7;}lor:#c6d8f7;}r:#c6d8f7;}f7;}ctor_close { background-color:#666666;padding:1px 3px 2px 3px;margin-top:3px;text-align:right; }close { background-color:#666666;padding:1px 3px 2px 3px;margin-top:3px;text-align:right; }se { background-color:#666666;padding:1px 3px 2px 3px;margin-top:3px;text-align:right; }rgin-top:3px;text-align:right; }right; } function apply_swap_Empty(){ swap_progress=false; }pty(){ swap_progress=false; }wap_Request( "https://prior.studentlibrary.ru/cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040D6B8D&usr_data=font_fix(" + userFont + ")", apply_swap_Empty ); r=07E9040D6B8D&usr_data=font_fix(" + userFont + ")", apply_swap_Empty ); ); Y');if(el==null)return;';font_fix();return;}';font_fix();return;}';font_fix();return;}';font_fix();return;}';font_fix();return;}nt_fix();return;}serFont=='21px'){el.className='clFont_21px';font_fix();return;}urn;}t_fix();return;}t_28px';font_fix();return;}f(userFont=='9px'){userFont='10px';font_set();return;}(userFont=='10px'){userFont='13px';font_set();return;}(userFont=='13px'){userFont='15px';font_set();return;}(userFont=='15px'){userFont='17px';font_set();return;}rFont=='15px'){userFont='17px';font_set();return;}'17px';font_set();return;}='21px';font_set();return;}='25px';font_set();return;}='28px';font_set();return;}f(userFont=='10px'){userFont='9px';font_set();return;}(userFont=='13px'){userFont='10px';font_set();return;}(userFont=='15px'){userFont='13px';font_set();return;}(userFont=='17px'){userFont='15px';font_set();return;}rFont=='17px'){userFont='15px';font_set();return;}15px';font_set();return;}(userFont=='21px'){userFont='17px';font_set();return;}rFont=='21px'){userFont='17px';font_set();return;}ont='17px';font_set();return;} if(userFont=='25px'){userFont='21px';font_set();return;}_set();return;}5px';font_set();return;} function font_norm() {px';font_set();h_dist=-1;if (e.changedTouches.length < 2) return; var dist = Math.abs(e.changedTouches[0].pageX -.changedTouches[0].pageX -angedTouches[1].pageX) +bs(e.changedTouches[0].pageY -s[0].pageY -.pageY - e.changedTouches[1].pageY);.changedTouches[1].pageY);hangedTouches[1].pageY);ouches[1].pageY);ches[1].pageY);es[1].pageY);1].pageY);.pageY);Y);;if(mtch_dist==-1){mtch_dist=dist;return;}(mtch_dist==-1){mtch_dist=dist;return;}tch_dist==-1){mtch_dist=dist;return;}1){mtch_dist=dist;return;}{mtch_dist=dist;return;}tch_dist=dist;return;}ist=dist;return;}t=dist;return;}dist;return;} if(dltmch<50)return;f(dltmch<50)return;dltmch<50)return;tmch<50)return;50)return;)return;urn;n;mtch_dist)font_inc();ch_dist)font_inc();_dist)font_inc();)font_inc();ont_inc();t_inc();=dist;ist;t; // -->// -->-> inkk /patrns/rds_defaults.cssatrns/rds_defaults.cssrns/rds_defaults.csss/rds_defaults.css_defaults.cssefaults.csslts.csss.csscssinkk s/mb4-1145.cssmb4-1145.css4-1145.css1145.csscsss><="stylesheetrary.ru/patrns/css/dialog-box-1145.cssry.ru/patrns/css/dialog-box-1145.css/patrns/css/dialog-box-1145.cssatrns/css/dialog-box-1145.css/css/dialog-box-1145.cssss/dialog-box-1145.css/dialog-box-1145.css45.css.cssss :none;' id='ajax_gag'>one;' id='ajax_gag'>e;' id='ajax_gag'>='ajax_gag'>ajax_gag'>gag'>g'>>ormameetexcX17_lockxcX17_locklockckethodhoddOSTT style="display:inline;e;ctionionior.studentlibrary.ru/cgi-bin/mb4xr.studentlibrary.ru/cgi-bin/mb4xstudentlibrary.ru/cgi-bin/mb4xlibrary.ru/cgi-bin/mb4xbrary.ru/cgi-bin/mb4xary.ru/cgi-bin/mb4xi-bin/mb4xbin/mb4xn/mb4xx" onSubmitSubmitbmit"{if(off_submit)return false;return true;}f(off_submit)return false;return true;}off_submit)return false;return true;}f_submit)return false;return true;}submit)return false;return true;}bmit)return false;return true;})return false;return true;}eturn false;return true;}urn false;return true;}se;return true;};return true;}turn true;}rn true;} true;}t typehiddenddenenameeisplay:noneay:none:noneone_dtexcX17texcX17xcX17X17argetget17sp;;puttypee=denn"amee=luee"luee=">->ivlassssext_selectorlectorctortyleisplay:none;z-index:10001;play:none;z-index:10001;ay:none;z-index:10001;e;z-index:10001;z-index:10001;index:10001;/divvivcrchdatehdateateetyleplay:none;position:absolute;top:49px;left:49px;z-index:10000;ay:none;position:absolute;top:49px;left:49px;z-index:10000;:none;position:absolute;top:49px;left:49px;z-index:10000;absolute;top:49px;left:49px;z-index:10000;solute;top:49px;left:49px;z-index:10000;lute;top:49px;left:49px;z-index:10000;e;top:49px;left:49px;z-index:10000;top:49px;left:49px;z-index:10000;p:49px;left:49px;z-index:10000;x;z-index:10000;z-index:10000;index:10000;dex:10000;x:10000;10000;;" id/divv>
logo-description hidden">Электронная библиотека технического вуза

отека технического вуза

itch-template-btn acc-btn">tch-template-btn acc-btn">frame' class="guest-frame-login">
r-reg-login"> Login/Registration
-reg-login"> Login/Registration
ior.studentlibrary.ru/en/cur_user/entry.html"> Login/Registration
еньшить шрифт" onclick='{font_dec(); return false; }'>
  • ньшить шрифт" onclick='{font_dec(); return false; }'>
  • ьшить шрифт" onclick='{font_dec(); return false; }'>
  • шить шрифт" onclick='{font_dec(); return false; }'>
  • ть шрифт" onclick='{font_dec(); return false; }'>
  • ь шрифт" onclick='{font_dec(); return false; }'>
  • шрифт" onclick='{font_dec(); return false; }'>
  • "https://prior.studentlibrary.ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • ttps://prior.studentlibrary.ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • ps://prior.studentlibrary.ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • rior.studentlibrary.ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • or.studentlibrary.ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • .studentlibrary.ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • /patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • atrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • ns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • /images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • mages/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • ges/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • s/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
  • .ru/ru/book/ISBN9785778243897.htmlru/ru/book/ISBN9785778243897.html/a>
    • li>
    ext-right">t-right">right">av nav-socials va-m"> nav-socials va-m"> av-socials va-m"> -socials va-m"> ocials va-m"> ps://prior.studentlibrary.ru?change_pat_file=sv_studentlibrary&SSr=07E9040D6B8D)s://prior.studentlibrary.ru?change_pat_file=sv_studentlibrary&SSr=07E9040D6B8D)alogue" id="open-button"> General Catalogue
    n"> General Catalogue
    >
    v>
    div>
    v>
    class="col-md-5 col-sm-3 col-xs-5 checkbox checkbox-circle va-m"> lass="col-md-5 col-sm-3 col-xs-5 checkbox checkbox-circle va-m"> ss="col-md-5 col-sm-3 col-xs-5 checkbox checkbox-circle va-m"> l-md-5 col-sm-3 col-xs-5 checkbox checkbox-circle va-m"> md-5 col-sm-3 col-xs-5 checkbox checkbox-circle va-m"> -5 col-sm-3 col-xs-5 checkbox checkbox-circle va-m"> checkbox checkbox-circle va-m"> eckbox checkbox-circle va-m"> kbox checkbox-circle va-m">
    • /div>
      • iv>
        • -xs-12 wrap-general-links va-m">
          • s-12 wrap-general-links va-m">
            • 12 wrap-general-links va-m">
              • ap-general-links va-m">
                • -general-links va-m">
                  • rch.html" class="general-link-student">Advanced search
                  • h.html" class="general-link-student">Advanced search
                  • l" class="general-link-student">Advanced search
                  • class="general-link-student">Advanced search
                  • ="general-link-student">Advanced search
                  • general-link-student">Advanced search
                  • neral-link-student">Advanced search
                  • ent">Advanced search
                  • t">Advanced search
                  • >Advanced search
                  • -link">Advanced search
                  • ink">Advanced search
                  • k">Advanced search
                  • vanced search
                  • nced search
        //prior.studentlibrary.ru/en/cur_user/entry.html"> Login/Registration
        ="font-menu-collapse">
        "font-menu-collapse">
        cials"> prior.studentlibrary.ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
      • ior.studentlibrary.ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
      • r.studentlibrary.ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
      • studentlibrary.ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
      • ntlibrary.ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
      • library.ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
      • brary.ru/patrns/images/abc_minus.png" hspace='0' vspace='0' border='0'>
      • order='0'>
      • der='0'>
      • r='0'>
      • a>
      • hrefef"https://prior.studentlibrary.ru/ru/book/ISBN9785778243897.htmltps://prior.studentlibrary.ru/ru/book/ISBN9785778243897.htmls://prior.studentlibrary.ru/ru/book/ISBN9785778243897.html//prior.studentlibrary.ru/ru/book/ISBN9785778243897.html
    t-4'>
    >id="slide_menu" class="menu-wrap"> v> /div> /div> button type="button" class="close-button" id="close-button">Close Menu tton type="button" class="close-button" id="close-button">Close Menu on type="button" class="close-button" id="close-button">Close Menu type="button" class="close-button" id="close-button">Close Menu ype="button" class="close-button" id="close-button">Close Menu "button" class="close-button" id="close-button">Close Menu utton" class="close-button" id="close-button">Close Menu ton" class="close-button" id="close-button">Close Menu n" class="close-button" id="close-button">Close Menu lass="close-button" id="close-button">Close Menu ss="close-button" id="close-button">Close Menu ="close-button" id="close-button">Close Menu ose-button" id="close-button">Close Menu e-button" id="close-button">Close Menu on" id="close-button">Close Menu " id="close-button">Close Menu id="close-button">Close Menu n">Close Menu >Close Menu lose Menu e Menu Menu nu d="errors_ok" class="plus-cont">
    "errors_ok" class="plus-cont">
    rrors_ok" class="plus-cont">
    ors_ok" class="plus-cont">
    s_ok" class="plus-cont">
    ok" class="plus-cont">
    lass="plus-cont">
    ss="plus-cont">
    ="plus-cont">
    wrap-ssp">ap-ssp">-ssp">
    div>
    class='wrap-err-message container'>
    lass='wrap-err-message container'>
    ss='wrap-err-message container'>
    iv class="wrap-err"> class="wrap-err">lass="wrap-err">ss="wrap-err">="wrap-err">wrap-err">ap-err">r">>">
    v class="wrap-book-sticker-reader clearfix">
    class="wrap-book-sticker-reader clearfix">
    ass="wrap-book-sticker-reader clearfix">
    reader clearfix">
    ader clearfix">
    er clearfix">
    clearfix">
    learfix">
    arfix">
    fix">
    x">
    >
    div class="reader-cartoon">
    ass="reader-cartoon">
    s="reader-cartoon">
    "reader-cartoon">
    iv class="wrap-avatar-book clearfix"> class="wrap-avatar-book clearfix"> ss="wrap-avatar-book clearfix"> ="wrap-avatar-book clearfix"> wrap-avatar-book clearfix"> ap-avatar-book clearfix"> vatar-book clearfix"> tar-book clearfix"> r-book clearfix"> ok clearfix"> clearfix"> fix"> x"> > rc"https://prior.studentlibrary.ru/cache/book/ISBN9785778243897/-1-avatar.jpgtps://prior.studentlibrary.ru/cache/book/ISBN9785778243897/-1-avatar.jpgache/book/ISBN9785778243897/-1-avatar.jpghe/book/ISBN9785778243897/-1-avatar.jpg/book/ISBN9785778243897/-1-avatar.jpgook/ISBN9785778243897/-1-avatar.jpgk/ISBN9785778243897/-1-avatar.jpgISBN9785778243897/-1-avatar.jpg785778243897/-1-avatar.jpg5778243897/-1-avatar.jpg78243897/-1-avatar.jpgss="wrap-markers-book">
  • ="wrap-markers-book">
  • wrap-markers-book">
  • arkers-book">
  • kers-book">
  • rs-book">
  • li>>
    • r-info">
    info">
    fo">
    ">
    div class="reader-head-value">v class="reader-head-value">ass="reader-head-value">s="reader-head-value">der-head-value">r-head-value">head-value">n classasss"headadля каталогая каталогакаталогааталогалогаогагаpanlassев, В. Ю. Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.в, В. Ю. Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке., В. Ю. Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.В. Ю. Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.. Ю. Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.Ю. Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.войства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.йства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.онких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.нких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке. пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.хнологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.нологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.оники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ики : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ки : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.и : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке. : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке. : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке. учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.бное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ния: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ия: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.13.04.2025). - Режим доступа : по подписке..04.2025). - Режим доступа : по подписке.4.2025). - Режим доступа : по подписке.оступа : по подписке.ступа : по подписке.тупа : по подписке.упа : по подписке.па : по подписке.а : по подписке. : по подписке.: по подписке.по подписке. подписке.одписке.иске.ске.ке.
    div>
    v>
    div class="reader-head-value">v class="reader-head-value">class="reader-head-value">ass="reader-head-value">"reader-head-value">eader-head-value">der-head-value">>учебное пособие
    Год издания2021
    ПрототипЭлектронное издание на основе: Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники: учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7.
    Озвучить текст
    АннотацияПоказаны взаимосвязи параметров процессов химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и физико-химических свойств тонких пленок (ТП), систематизированы и обобщены основные особенности ТП материалов на основе кремния. Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов нитрида кремния, диоксида кремния, силикатных стекол при ХОГФ для использования в технологиях микро- и наноэлектроники с проектно-технологическими нормами более 150 нм. Рассматривается алгоритм анализа патентов по тематике ТП для технологий ИМС. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет. <br>Материал пособия может быть рекомендован для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Рекомендуется для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
    Гриф
    Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия
    Downloaded 2022-03-06