Раздел 2 / 8

Страница 1 / 2

Дополнительная зарубежная и отечественная литература по технологиям и маршрутам ИМС

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Registration

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники

Table of contents

Введение

Дополнительная зарубежная и отечественная литература по технологиям и маршрутам ИМС

Глава 1. Общие вопросы ХОГФ ТП применительно к ИМС

Глава 2. Тонкие пленки нитрида кремния

Глава 3. Тонкие пленки диоксида кремния

Глава 4. Тонкие пленки силикатных стекол

Глава 5. Анализ патентов по тематике ТП для технологий ИМС

Библиографический список