Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы)
Для каталогаГруздов, В. В. Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы) : учебное пособие / Груздов В. В. , Колковский Ю. В. , Концевой Ю. А. - Москва : Техносфера, 2017. - 96 с. - ISBN 978-5-94836-471-1. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785948364711.html (дата обращения: 17.04.2025). - Режим доступа : по подписке.
АвторыГруздов В.В., Колковский Ю.В., Концевой Ю.А.
ИздательствоТехносфера
Тип изданияучебное пособие
Год издания2017
ПрототипЭлектронное издание на основе: Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы). (Учебное пособие) Москва: ТЕХНОСФЕРА, 2017. - 96с. - ISBN 978-5-94836-471-1.
АннотацияМетодические указания содержат описание лабораторных работ по курсу "Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники". В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.
ГрифМетодические указания
по выполнению лабораторных работ
для магистров, с направлением подготовки
по специальности 11.04.04 и аспирантов
с направлением подготовки по специальностям
05.27.01 и 05.27.06
Downloaded 2019-01-15