Раздел 7 / 18

Страница 36 / 41

Глава 5. Электронно-лучевая нанолитография в растровом электронном микроскопе

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Registration

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Растровая электронная микроскопия для нанотехнологий. Методы и применение

Table of contents

Предисловие

Словарь наиболее часто используемых аббревиатур

Глава 1. Основы растровой электронной микроскопии +

Глава 2. Метод дифракции отраженных электронов (ДОЭ) и примеры исследования материалов +

Глава 3. Рентгеновский микроанализ в наноматериалах +

Глава 4. Низкокиловольтная растровая электронная микроскопия +

Глава 5. Электронно-лучевая нанолитография в растровом электронном микроскопе -

1. Введение

1.1. Основы электронно-лучевой литографии на базе растрового микроскопа

1.2. Описание электронно-литографической системы на базе РЭМ

1.3. Подключение системы литографии к РЭМ

2. Материалы и подготовка к обработке

2.1. Подложки

2.2. Резисты

2.3. Нанесение резиста центрифугированием

3. Генератор шаблонов

3.1. Методические указания по проектированию шаблона

3.2. Конфигурация системы

3.3. Настройка микроскопа

4. Обработка экспонированного шаблона

4.1. Проявление

4.2. Нанесение резиста и взрывная технология

4.3. Травление

4.4. Контроль шаблона и общие ошибки

5. Применение электронно-лучевой нанолитографии в нанотехнологиии

5.1. Нанотранзисторы

5.2. Нанодатчики

5.3. Магнитные наноприборы

5.4. Биологические применения

6. Выводы

Литература

Глава 6. Просвечивающая растровая электронная микроскопия для исследования наноструктур +

Глава 7. Введение в наноманипулирование in situ для конструирования наноматериалов +

Глава 8. Применение фокусированного ионного пучка и двухлучевых систем DualBeam для изготовления наноструктур +

Глава 9. Нанопроволоки и углеродные нанотрубки +

Глава 10. Фотонные кристаллы и устройства +

Глава 11. Наночастицы и коллоидные самосборки +

Глава 12. Наноблоки, изготовленные посредством темплатов +

Глава 13. Одномерные полупроводниковые структуры с кристаллической решеткой типа вюрцита +

Глава 14. Бионаноматериалы +

Глава 15. Низкотемпературные стадии в наноструктурных исследованиях +

Предметный указатель