Раздел 3 / 4

Страница 1 / 52

Модуль 1. Технологический анализ изделий микротехнологии

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Registration

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Процессы и оборудование микротехнологии: Модули 1 и 2

Table of contents

Предисловие

Введение

Модуль 1. Технологический анализ изделий микротехнологии -

1.1. Интегральные микросхемы как объект производства

1.1.1. Структура и принцип действия КМОП-микросхем

1.1.2. Технология КМОП-микросхем

1.2. Особенности производства микроэлектромеханических систем

1.2.1. Принцип действия и структура микродатчика давления

1.2.2. Технические характеристики микродатчика давления

1.2.3. Технология изготовления чувствительного элемента

1.2.4. Монтаж кремниевого чувствительного элемента на стеклянное основание

Заключение

Задания для самостоятельной работы и самоконтроля

Ресурсы сети Интернет к модулю 1

Приложения к модулю 1

Приложение 1. Параметры металлических межсоединений

Приложение 2. Особенности формирования медных межсоединений

Приложение 3. Диэлектрические свойства материалов микротехнологии

Приложение 4. Тензо- и пьезоэффект в кремнии

Модуль 2. Изготовление монокристаллических кремниевых пластин +