Раздел 4 / 4

Страница 1 / 61

Модуль 2. Изготовление монокристаллических кремниевых пластин

/

Режим прокрутки

На первую страницу

На предыдущую главу

На предыдущую страницу

На следующую страницу

На последнюю страницу

/

Если Вы наш подписчик,то для того чтобы скопировать текст этой страницы в свой конспект,
используйте просмотр в виде pdf. Вам доступно 12 стр. из этой главы.

На первую страницу

На предыдущую главу

На предыдущую страницу

На следующую страницу

На последнюю страницу

Скачать приложение

Процессы и оборудование микротехнологии: Модули 1 и 2

Table of contents

Предисловие

Введение

Модуль 1. Технологический анализ изделий микротехнологии +

Модуль 2. Изготовление монокристаллических кремниевых пластин -

2.1. Кремниевые пластины как объект производства

2.1.1. Электрические параметры

2.1.2. Геометрические параметры

2.2. Получение монокристаллического кремния

2.2.1. Этапы производства кремния

2.2.2. Выращивание монокристаллов

2.2.3. Обработка кремниевых слитков и пластин

2.3. Термическое оксидирование кремния

2.3.1. Свойства диоксида кремния

2.3.2. Структура диоксида кремния

2.3.3. Получение диоксида кремния термическим оксидированием

2.3.4. Стадии оксидирования

2.3.5. Модель роста оксида Дила - Гроува (Deal - Grove)

2.3.6. Промышленная реализация термического оксидирования

Заключение

Задания для самостоятельной работы и самоконтроля

Ресурсы сети Интернет к модулю 2