Раздел 4 / 9

Страница 1 / 107

Модуль 1. Требования к системам микро- и наноперемещений. Основные типы механизмов прецизионных перемещений

/

Режим прокрутки

На первую страницу

На предыдущую главу

На предыдущую страницу

На следующую страницу

На следующую главу

На последнюю страницу

/

Если Вы наш подписчик,то для того чтобы скопировать текст этой страницы в свой конспект,
используйте просмотр в виде pdf. Вам доступно 21 стр. из этой главы.

На первую страницу

На предыдущую главу

На предыдущую страницу

На следующую страницу

На следующую главу

На последнюю страницу

Скачать приложение

Механизмы прецизионных перемещений

Table of contents

Предисловие

Список принятых сокращений и обозначений

Введение

Модуль 1. Требования к системам микро- и наноперемещений. Основные типы механизмов прецизионных перемещений -

1.1. Основные характеристики механизмов точных перемещений

1.2. Современное и перспективное исследовательское и технологическое оборудование, применяемое в микро- и нанотехногиях

1.2.1. Оборудование для производства интегральных микросхем и печатных плат

1.2.2. Системы позиционирования для оборудования нанолокальной обработки

1.2.3. Система позиционирования элементарных зеркал в адаптивных составных телескопах

1.2.4. Оптоволоконные системы и их настройка с помощью юстировочных устройств

1.2.5. Позиционирующие устройства для прецизионного металлообрабатывающего оборудования

1.2.6. Комплекс требований к системам точного позиционирования и виброизоляции прецизионного оборудования

1.3. Механизмы точных перемещений

1.3.1. Краткая характеристика основных типов механизмов перемещений и физические принципы их работы

1.3.2. Механизмы перемещений и их элементы

Задания для самостоятельного выполнения

Модуль 2. Расчет основных параметров прецизионных механизмов +

Модуль 3. Вибрационная защита прецизионного оборудования +

Модуль 4. Управление механизмами микро- и наноперемещений +

Глоссарий

Литература