Раздел 4 / 9

Страница 15 / 107

Модуль 1. Требования к системам микро- и наноперемещений. Основные типы механизмов прецизионных перемещений

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Registration

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Механизмы прецизионных перемещений

Table of contents

Предисловие

Список принятых сокращений и обозначений

Введение

Модуль 1. Требования к системам микро- и наноперемещений. Основные типы механизмов прецизионных перемещений -

1.1. Основные характеристики механизмов точных перемещений

1.2. Современное и перспективное исследовательское и технологическое оборудование, применяемое в микро- и нанотехногиях

1.2.1. Оборудование для производства интегральных микросхем и печатных плат

1.2.2. Системы позиционирования для оборудования нанолокальной обработки

1.2.3. Система позиционирования элементарных зеркал в адаптивных составных телескопах

1.2.4. Оптоволоконные системы и их настройка с помощью юстировочных устройств

1.2.5. Позиционирующие устройства для прецизионного металлообрабатывающего оборудования

1.2.6. Комплекс требований к системам точного позиционирования и виброизоляции прецизионного оборудования

1.3. Механизмы точных перемещений

1.3.1. Краткая характеристика основных типов механизмов перемещений и физические принципы их работы

1.3.2. Механизмы перемещений и их элементы

Задания для самостоятельного выполнения

Модуль 2. Расчет основных параметров прецизионных механизмов +

Модуль 3. Вибрационная защита прецизионного оборудования +

Модуль 4. Управление механизмами микро- и наноперемещений +

Глоссарий

Литература