Приложение А (Справочно-аналитическое). Научно-методические рекомендации (аннотировано). Исследование и разработка методов физико-технического и нормативно-методического контроля технического уровня СБИС с предельными топологическими нормами

Скачать приложение

Управление техническим уровнем высокоинтегрированных электронных систем (научно-технологические проблемы и аспекты развития)

Литератураnav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0002')v_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0002')pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0002')CN0002')0002')02')')ssTCont-row-childs-a-onont-row-childs-a-onw-childs-a-onchilds-a-onilds-a-on>Глава 4. Исследования по созданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфиреава 4. Исследования по созданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфирева 4. Исследования по созданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфиреа 4. Исследования по созданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфире. Исследования по созданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфиреИсследования по созданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфиреледования по созданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфиреедования по созданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфиредования по созданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфирепо созданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфирео созданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфире созданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфиреозданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфирезданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфиреданию технологии производства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфире�роизводства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфире�оизводства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфире�изводства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфире�зводства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфире�водства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфире�одства структур с ультратонкими слоями кремния на сапфирества структур с ультратонкими слоями кремния на сапфиретва структур с ультратонкими слоями кремния на сапфирева структур с ультратонкими слоями кремния на сапфире�мния на сапфире�ния на сапфире�ия на сапфирена сапфиреа сапфире сапфиреhttps://prior.studentlibrary.ru/cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')tps://prior.studentlibrary.ru/cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')s://prior.studentlibrary.ru/cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')//prior.studentlibrary.ru/cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')prior.studentlibrary.ru/cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')ior.studentlibrary.ru/cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')r.studentlibrary.ru/cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')udentlibrary.ru/cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')entlibrary.ru/cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')tlibrary.ru/cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')rary.ru/cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')ry.ru/cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')cgi-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')i-bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')bin/mb4x?AJAX=1&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')&SSr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')Sr=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')=07E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')E9040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')040F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')0F12291&usr_data=htmswap(draw_TCont_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')nt_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')_doc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')oc_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')_item,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')tem,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')m,0,0,bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005'),bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')TCont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')ont-ISBN9785948363974-SCN0005,book,ISBN9785948363974,,doc_id:ISBN9785948363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')48363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')363974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')3974-SCN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')CN0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')0005,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')05,fixas:b,nav_pg_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')_type:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')ype:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')e:doc,nav_pg_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')g_id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')id:ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005'):ISBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')SBN9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')N9785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')785948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')5948363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')363974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')3974-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')74-SCN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')CN0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')0008,nav_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')av_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')_pg_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')g_tab:,drawchl:1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')1)','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')','bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')'bTCont-ISBN9785948363974-SCN0005')Cont-ISBN9785948363974-SCN0005')nt-ISBN9785948363974-SCN0005')-ISBN9785948363974-SCN0005')classasss="bTCont-row-childs-a-ont-row-childs-a-onrow-childs-a-onw-childs-a-on/divv/divvTCont-ISBN9785948363974-SCN0006ont-ISBN9785948363974-SCN0006t-ISBN9785948363974-SCN0006ISBN9785948363974-SCN00069785948363974-SCN000685948363974-SCN0006948363974-SCN000663974-SCN0006974-SCN0006N00060066f="ttps://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785948363974-SCN0006.htmlps://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785948363974-SCN0006.html://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785948363974-SCN0006.html/ISBN9785948363974-SCN0006.htmlSBN9785948363974-SCN0006.htmlN9785948363974-SCN0006.html785948363974-SCN0006.html5948363974-SCN0006.html48363974-SCN0006.html974-SCN0006.html4-SCN0006.htmlSCN0006.htmliv="bTCont-row-docCont-ISBN9785948363974-SCN0007nt-ISBN9785948363974-SCN0007-ISBN9785948363974-SCN0007SBN9785948363974-SCN0007N9785948363974-SCN0007785948363974-SCN00075948363974-SCN0007363974-SCN00073974-SCN000774-SCN0007CN00070007ttps://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785948363974-SCN0007.htmlps://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785948363974-SCN0007.html://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785948363974-SCN0007.htmlprior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785948363974-SCN0007.htmlior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785948363974-SCN0007.htmlr.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785948363974-SCN0007.html85948363974-SCN0007.html948363974-SCN0007.html8363974-SCN0007.html63974-SCN0007.html974-SCN0007.html4-SCN0007.html0007.html07.html.htmliv">

nav>

button type="button" class="close-button" id="close-button">Close Menu

tton type="button" class="close-button" id="close-button">Close Menu

on type="button" class="close-button" id="close-button">Close Menu

class="close-button" id="close-button">Close Menu

ass="close-button" id="close-button">Close Menu

Оглавление

Оглавление