Раздел 3 / 5

Страница 1 / 51

Глава 2. Параметры плазмы и закономерности образования и гибели активных частиц при разряде в хлоре

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Registration

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Неравновесная плазма хлора: свойства и применение

Table of contents

Введение +

Глава 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов +

Глава 2. Параметры плазмы и закономерности образования и гибели активных частиц при разряде в хлоре -

§ 2.1. Кинетическая схема процессов в плазме хлора

§ 2.2. Сечения процессов под действием электронного удара

§ 2.3. Результаты экспериментального исследования ННГП в хлоре. Электрофизические параметры плазмы

§ 2.4. Кинетика образования и гибели нейтральных частиц. Стационарный массовый состав нейтральной компоненты газовой фазы

§ 2.5. Кинетика образования и гибели заряженных частиц. Массовый состав ионной компоненты газовой фазы

§ 2.6. Излучение разряда в хлоре

§ 2.7. Потоки активных частиц на поверхность и механизмы травления в хлорной плазме

Заключение

Литература

Глава 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2 и O2 +

Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu, GaAs и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2 и O2 +