Раздел 3 / 4

Страница 1 / 223

ЧАСТЬ II

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Registration

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Микросистемные датчики физических величин

Table of contents

Введение

ЧАСТЬ II -

Глава 10. Микросистемные пьезорезонансные датчики

Глава 11. Микромагнитометры

Глава 12. Интегральные датчики давлений и влажности

Глава 13. Интегральные расходомеры жидкостей и газов

Глава 14. Микроактюаторы. Тепловые микроактюаторы

Глава 15. Оптимизация характеристик интегральных датчиков

Глава 16. Испытания и тарировка интегральных датчиков

Глава 17. Надежность элементов и компонентов микроэлектромеханических систем

Библиографический список для второй части

Приложения