Раздел 5 / 9

Страница 60 / 66

ГЛАВА 3. НЕСТАБИЛЬНОСТЬ, ТОЧНОСТЬ И НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬ НАНОИЗМЕРЕНИЙ

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Registration

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Нанометрология

Table of contents

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. СТАНОВЛЕНИЕ НАНОИНДУСТРИИ И КОНЦЕПЦИЯ РАЗВИТИЯ НАНОМЕТРОЛОГИИ +

ГЛАВА 2. ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ +

ГЛАВА 3. НЕСТАБИЛЬНОСТЬ, ТОЧНОСТЬ И НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬ НАНОИЗМЕРЕНИЙ -

3.1. Основные положения

3.2. Измерение линейных размеров рельефных наноструктур

3.3. Точность измерения линейных наноразмеров

3.4. Погрешности измерения длины волны и частоты лазера

3.5. Нестабильность мощности излучения лазеров

3.6. Разрешающая способность растрового электронного микроскопа

3.7. Оценка расходимости лазерного излучения

3.8. Особенности наноизмерений в АСМ-режиме

3.9. Введение концепции неопределенности

3.10. Погрешность и неопределенность

3.11. Этапы оценивания погрешностей и неопределенностей

3.12. Пример вычисления погрешности эталона единицы длины (по данным ВНИИМ)

3.13. Определение содержания элементов методами атомной спектроскопии по ГОСТ Р 51309-99

3.14. Оценка неопределенности значений стандартных образцов

ГЛАВА 4. ПОВЕРКА И КАЛИБРОВКА В СФЕРЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ +

ГЛАВА 5. ОРГАНИЗАЦИОННЫЕ ОСНОВЫ НАНОМЕТРОЛОГИИ +

ПРИЛОЖЕНИЕ

ЛИТЕРАТУРА