Раздел 6 / 9

Страница 40 / 76

ГЛАВА 4. ПОВЕРКА И КАЛИБРОВКА В СФЕРЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Registration

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Нанометрология

Table of contents

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. СТАНОВЛЕНИЕ НАНОИНДУСТРИИ И КОНЦЕПЦИЯ РАЗВИТИЯ НАНОМЕТРОЛОГИИ +

ГЛАВА 2. ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ +

ГЛАВА 3. НЕСТАБИЛЬНОСТЬ, ТОЧНОСТЬ И НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬ НАНОИЗМЕРЕНИЙ +

ГЛАВА 4. ПОВЕРКА И КАЛИБРОВКА В СФЕРЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ -

4.1. Общие сведения

4.2. Рельефные меры для нанометрового диапазона

4.2.1. Классификация тест-объектов

4.2.2. Поверка рельефной меры

4.2.3. Калибровка рельефной меры

4.3. Измерительные растровые электронные микроскопы

4.3.1. Поверка растровых микроскопов

4.3.2. Стандартная калибровка растровых микроскопов

4.3.3. Калибровка растровых микроскопов по двум координатам

4.4. Атомно-силовые измерительные зондовые микроскопы

4.4.1. Поверка атомно-силовых микроскопов

4.4.2. Калибровка атомно-силовых микроскопов

4.4.3. Калибровка атомно-силовых микроскопов по трем координатам

4.5. Обеспечение единства измерений в лазерной технике, спектроскопии и хроматографии

4.5.1. Обеспечение единства измерений параметров лазерного излучения

4.5.2. Поверка и калибровка спектрометров

4.5.3. Поверка газовых хроматографов

4.5.4. Поверка жидкостных хроматографов

4.5.5. Контроль качества приготовления проб для химического анализа

ГЛАВА 5. ОРГАНИЗАЦИОННЫЕ ОСНОВЫ НАНОМЕТРОЛОГИИ +

ПРИЛОЖЕНИЕ

ЛИТЕРАТУРА