Справка
STUDENT'S CONSULTANT
Электронная библиотека технического вуза
Все издания
Login/Registration
Во весь экран / Свернуть
ru
Accessibility
General Catalogue
Все издания
Menu
Искать в книге
К результату поиска
Advanced search
Bookmarks
Homepage
Login/Registration
Во весь экран / Свернуть
ru
Управление
My reports
General Catalogue
Издательства
УГС
Мои списки
Download app
Методы литографии в наноинженерии. Кн. 9
Оборот титула
Table of contents
ПРЕДИСЛОВИЕ
СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ
ВВЕДЕНИЕ
1. КОНСПЕКТ ЛЕКЦИЙ
-
1.1. Современное состояние и тенденции развития технологических операций проекционной литографии при производстве КМОП СБИС
1.2. Используемые материалы и применяемое литографическое оборудование при производстве КМОП СБИС с наноразмерными элементами
1.3. Нанесение резиста на поверхность кремниевой пластины
1.4. Формирование в пленке резиста скрытого изображения (экспонирование) посредством проекционной оптики и его ключевые физические ограничения в части разрешающей способности
1.5. Основные физико-химические характеристики ДХН-новолачных I-LINE-резистов
1.6. Способы повышения разрешающей способности процесса проекционной литографии
1.7. Критерии оценки качества процесса проекционной литографии
+
7. СТРОИТЕЛЬНЫЕ МЕТАЛЛЫ
+
8. МИНЕРАЛЬНЫЕ ВЯЖУЩИЕ ВЕЩЕСТВА ВОЗДУШНОГО ТВЕРДЕНИЯ
+
9. МИНЕРАЛЬНЫЕ ВЯЖУЩИЕ ВЕЩЕСТВА ГИДРАВЛИЧЕСКОГО ТВЕРДЕНИЯ
+
10. РАЗНОВИДНОСТИ ЦЕМЕНТОВ
+
11. МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ БЕТОНОВ И СТРОИТЕЛЬНЫХ РАСТВОРОВ
+
12. ОСНОВЫ БЕТОНОВЕДЕНИЯ
+
13. РАЗНОВИДНОСТИ БЕТОНОВ
+
14. СТРОИТЕЛЬНЫЕ РАСТВОРЫ
+
15. ОРГАНИЧЕСКИЕ ВЯЖУЩИЕ ВЕЩЕСТВА
+
16. ПОЛИМЕРНЫЕ КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
+
17. ТЕПЛОИЗОЛЯЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ИЗДЕЛИЯ
+
18. АКУСТИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ И ИЗДЕЛИЯ
+
19. ГИДРОИЗОЛЯЦИОННЫЕ, КРОВЕЛЬНЫЕ И ГЕРМЕТИЗИРУЮЩИЕ МАТЕРИАЛЫ
+
20. ЛАКОКРАСОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
+
ЛИТЕРАТУРА