Раздел 7 / 8

Страница 3 / 3

7. Соединение слоев внутри микросистемы

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Registration

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Технология микросистемной техники. Методы микрообработки

Table of contents

1. Вводная часть

2. Материалы для микрообработки +

3. Фотолитография

4. Объемная микрообработка +

5. Поверхностная микрообработка

6. Технология LIGA

7. Соединение слоев внутри микросистемы -

7.1. Анодное cоединение

7.2. Соединение с помощью вспомогательного слоя

7.3. Прямое cоединение

Литература