Раздел 4 / 7

Страница 7 / 17

3. Технологии микромеханики

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Registration

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Введение в микросистемную технику

Table of contents

Введение

1. Принципы функционирования и особенности проектирова" ния МЭМС

2. Конструкционные материалы +

3. Технологии микромеханики -

3.1. Глубинное объемное травление

3.2. Анизотропное жидкостное травление

3.3. Сухое травление

3.4. Технология поверхностной механики

3.5. LIGAтехнология

3.6. Соединение пластин

3.7. Электроннолучевая литография

3.8. Микростереолитография

4. Датчики и исполнительные устройства +

Контрольные вопросы

Литература