class="wrap-title-book-reader">ass="wrap-title-book-reader">s="wrap-title-book-reader">">Для каталога каталогакаталогаиколаев, Н. Антиманипулятор : Как построить общество, свободное от манипуляций чиновников / Николаев Н. - Москва : Интеллектуальная Литература, 2020. - 276 с. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.олаев, Н. Антиманипулятор : Как построить общество, свободное от манипуляций чиновников / Николаев Н. - Москва : Интеллектуальная Литература, 2020. - 276 с. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.лаев, Н. Антиманипулятор : Как построить общество, свободное от манипуляций чиновников / Николаев Н. - Москва : Интеллектуальная Литература, 2020. - 276 с. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.аев, Н. Антиманипулятор : Как построить общество, свободное от манипуляций чиновников / Николаев Н. - Москва : Интеллектуальная Литература, 2020. - 276 с. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке. : Интеллектуальная Литература, 2020. - 276 с. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке. Интеллектуальная Литература, 2020. - 276 с. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.нтеллектуальная Литература, 2020. - 276 с. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.теллектуальная Литература, 2020. - 276 с. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ллектуальная Литература, 2020. - 276 с. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.лектуальная Литература, 2020. - 276 с. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ктуальная Литература, 2020. - 276 с. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.туальная Литература, 2020. - 276 с. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.уальная Литература, 2020. - 276 с. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке. - ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке. ISBN 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.N 978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.978-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.8-5-6042882-6-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке. : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.: электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ктронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.тронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.нсультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.сультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.льтант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ьтант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.тант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.ант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9785604288269.html (дата обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.а обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке.а обращения: 13.04.2025). - Режим доступа : по подписке..2025). - Режим доступа : по подписке.2025). - Режим доступа : по подписке. литератураератураspananclassass"headad>Тип изданияип издания
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро- и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества. В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (1011-1012 см-3), минимальный разброс ионов по энергиям (Aei < 5 эВ), относительно низкое рабочее давление (10-2-И0-1 Па) и низкую энергетическую цену иона (30-^80) эВ/ион. Благодаря отсутствию накаливаемых узлов источник ICP обладает большим ресурсом работы с химически активными газами. Особенно важно, что он предоставляет возможность независимого управления энергией и плотностью потока ионов, поступающих на подложку. Успехи в конструировании источников ICP для целей микроэлектроники побудили разработчиков оборудования применить их и в других отраслях, например в азотировании стальных деталей, обработке полимерных пленок и нанесении специальных покрытий методами PVD и PECVD. <br>За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого - систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICR Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. <br>Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICR Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICR и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.