Технологическое оборудование для микроэлектроники
Для каталогаКамлюк, В. С. Технологическое оборудование для микроэлектроники : учеб. пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк - Минск : РИПО, 2014. - 391 с. - ISBN 978-985-503-369-2. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://prior.studentlibrary.ru/book/ISBN9789855033692.html (дата обращения: 07.04.2025). - Режим доступа : по подписке.
АвторыВ.С. Камлюк, Д.В. Камлюк
ИздательствоРИПО
Тип изданияучебное пособие
Год издания2014
ПрототипЭлектронное издание на основе: Технологическое оборудование для микроэлектроники : учеб. пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. - Минск : РИПО, 2014. - 391 с. : ил. - ISBN 978-985-503-369-2.
АннотацияПредставлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
ГрифДопущено Министерством образования Республики Беларусь в качестве учебного пособия для учащихся учреждений образования, реализующих образовательные программы профессионально-технического образования по специальности
"Наладка технологического оборудования радиоэлектронного производства" и среднего специального образования по специальностям "Автоматизация технологических процессов и производств", "Микроэлектроника"
Загружено 2018-11-23