движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы вибрационной защиты прецизионного оборудования, принципы разработки динамических моделей и алгоритм процесса управления прецизионными механизмами перемещений для обеспечения требуемых параметров. Определены основные параметры механизмов прецизионных перемещений.Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" 28.03.02 "Наноинженерия".