Справка
ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Электронная библиотека технического вуза
Все издания
Вход / регистрация
Во весь экран / Свернуть
en
Версия для слабовидящих
Каталог
Все издания
Меню
Искать в книге
К результату поиска
Расширенный поиск
Закладки
На главную
Вход / регистрация
Во весь экран / Свернуть
en
Управление
Мои отчеты
Каталог
Издательства
УГС
Мои списки
Скачать приложение
Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
Оборот титула
Оглавление
Введение
1. Требования к полированным пластинам монокристаллического кремния
2. Особенности описания и основные группы геометрических параметров пластин
-
2.1. Геометрический рельеф поверхности пластины в прижатом состоянии
2.2. Толщина и однородность распределения толщины по площади пластины
2.3. Геометрическая форма пластины в свободном состоянии и рельеф поверхности
2.4. Доля годной поверхности
3. Новое в технологии обработки кремниевых пластин
4. Требования к пластинам из сапфира
5. Экономическая целесообразность перехода к пластинам больших диаметров
Close Menu
Раздел
3
/
6
Страница
2. Особенности описания и основные группы геометрических параметров пластин
Справка
ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Электронная библиотека технического вуза
Все издания
Вход / регистрация
Во весь экран / Свернуть