Раздел 6 / 9

Страница 1 / 68

Глава 4. Изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Регистрация

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Расчет, конструирование и изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов

Оглавление

Список сокращений

Введение

Глава 1. Разновидности дифракционных и голограммных оптических элементов

Глава 2. Расчет дифракционных и голограммных оптических элементов

Глава 3. Конструирование дифракционных и голограммных оптических элементов

Глава 4. Изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов -

4.1. Технологические процессы изготовления ДГОЭ

4.2. Нанесение металлорезиста

4.3. Нанесение фото- и электронорезистов

4.4. Электронно-лучевая литография

4.5. Изготовление фотошаблонов

4.6. Экспонирование фото- и электронорезистов

4.7. Проявление фото- и электронорезистов

4.8. Травление металлорезиста

4.9. Сухое травление оптического стекла

4.9.1. Ионная бомбардировка поверхности твердого тела

4.9.2. Обработка оптических стекол ионными пучками

4.9.3. Ионно-плазменные методы обработки оптических материалов

4.9.4. Установки с индуктивно связанной плазмой

4.9.5. Установка ПХТ Caroline 15 PE

Глава 5. Теория и практика плазмохимического травления для изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов +

Заключение

Литература