Справка
ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Электронная библиотека технического вуза
Все издания
Вход / регистрация
Во весь экран / Свернуть
en
Версия для слабовидящих
Каталог
Все издания
Меню
Искать в книге
К результату поиска
Расширенный поиск
Закладки
На главную
Вход / регистрация
Во весь экран / Свернуть
en
Управление
Мои отчеты
Каталог
Издательства
УГС
Мои списки
Скачать приложение
Процессы и оборудование микротехнологии: Модули 1 и 2
Оборот титула
Оглавление
Предисловие
Введение
Модуль 1. Технологический анализ изделий микротехнологии
-
1.1. Интегральные микросхемы как объект производства
1.1.1. Структура и принцип действия КМОП-микросхем
1.1.2. Технология КМОП-микросхем
1.2. Особенности производства микроэлектромеханических систем
1.2.1. Принцип действия и структура микродатчика давления
1.2.2. Технические характеристики микродатчика давления
1.2.3. Технология изготовления чувствительного элемента
1.2.4. Монтаж кремниевого чувствительного элемента на стеклянное основание
Заключение
Задания для самостоятельной работы и самоконтроля
Ресурсы сети Интернет к модулю 1
Приложения к модулю 1
Приложение 1. Параметры металлических межсоединений
Приложение 2. Особенности формирования медных межсоединений
Приложение 3. Диэлектрические свойства материалов микротехнологии
Приложение 4. Тензо- и пьезоэффект в кремнии
Модуль 2. Изготовление монокристаллических кремниевых пластин
+
Close Menu
Раздел
3
/
4
Страница
50
/
52
Модуль 1. Технологический анализ изделий микротехнологии
/
/
Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Для продолжения работы требуется
Регистрация
Каталог
Издательства
УГС
Мои списки
Скачать приложение
Процессы и оборудование микротехнологии: Модули 1 и 2
Оглавление
Предисловие
Введение
Модуль 1. Технологический анализ изделий микротехнологии
-
1.1. Интегральные микросхемы как объект производства
1.1.1. Структура и принцип действия КМОП-микросхем
1.1.2. Технология КМОП-микросхем
1.2. Особенности производства микроэлектромеханических систем
1.2.1. Принцип действия и структура микродатчика давления
1.2.2. Технические характеристики микродатчика давления
1.2.3. Технология изготовления чувствительного элемента
1.2.4. Монтаж кремниевого чувствительного элемента на стеклянное основание
Заключение
Задания для самостоятельной работы и самоконтроля
Ресурсы сети Интернет к модулю 1
Приложения к модулю 1
Приложение 1. Параметры металлических межсоединений
Приложение 2. Особенности формирования медных межсоединений
Приложение 3. Диэлектрические свойства материалов микротехнологии
Приложение 4. Тензо- и пьезоэффект в кремнии
Модуль 2. Изготовление монокристаллических кремниевых пластин
+