Справка
x
ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Электронная библиотека технического вуза
Все издания
Вход / регистрация
Во весь экран / Свернуть
en
Версия для слабовидящих
Каталог
Все издания
Меню
Искать в книге
К результату поиска
Расширенный поиск
Закладки
На главную
Вход / регистрация
Во весь экран / Свернуть
en
Раздел
1
/
5
Страница
1
/
5
Введение
/
/
Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Для продолжения работы требуется
Регистрация
Управление
Мои отчеты
Каталог
Издательства
УГС
Мои списки
Скачать приложение
Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
Оборот титула
Оглавление
Введение
-
Литература
Глава 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов
+
Глава 2. Параметры плазмы и закономерности образования и гибели активных частиц при разряде в хлоре
+
Глава 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2 и O2
+
Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu, GaAs и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2 и O2
+
Close Menu