Раздел 4 / 5

Страница 1 / 66

Глава 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2 и O2

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Регистрация

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Неравновесная плазма хлора: свойства и применение

Оглавление

Введение +

Глава 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов +

Глава 2. Параметры плазмы и закономерности образования и гибели активных частиц при разряде в хлоре +

Глава 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2 и O2 -

§ 3.1. Результаты экспериментального исследования плазмы бинарных смесей хлора с Ar, N2, H2 и О2

§ 3.2. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор-аргон

§ 3.3. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор-азот

§ 3.4. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор-кислород

§ 3.5. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор-водород

§ 3.6. Анализ возможных механизмов влияния начального состава смеси на скорость травления

Заключение

Литература

Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu, GaAs и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2 и O2 +