de.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
rtBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
Before(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
re(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
x.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
etrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
rika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
g.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
rackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
ckLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
Links:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
nks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
s:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
accurateTrackBounce:true, webvisor:true });
urateTrackBounce:true, webvisor:true });
ateTrackBounce:true, webvisor:true });
rackBounce:true, webvisor:true });
ckBounce:true, webvisor:true });
Bounce:true, webvisor:true });
oscript>
cript>
div>
v>
t="" title="" src="https://mc.yandex.ru/watch/87744885" style="position:absolute; left:-9999px;"> "" title="" src="https://mc.yandex.ru/watch/87744885" style="position:absolute; left:-9999px;"> itle="" src="https://mc.yandex.ru/watch/87744885" style="position:absolute; left:-9999px;"> le="" src="https://mc.yandex.ru/watch/87744885" style="position:absolute; left:-9999px;"> ="" src="https://mc.yandex.ru/watch/87744885" style="position:absolute; left:-9999px;"> sition:absolute; left:-9999px;"> tion:absolute; left:-9999px;"> on:absolute; left:-9999px;"> :absolute; left:-9999px;"> bsolute; left:-9999px;"> ; left:-9999px;"> left:-9999px;"> ft:-9999px;"> 9px;"> x;"> img> g> ior.studentlibrary.ru/patrns/rds_defaults_12.jsr.studentlibrary.ru/patrns/rds_defaults_12.jsstudentlibrary.ru/patrns/rds_defaults_12.jsudentlibrary.ru/patrns/rds_defaults_12.jsentlibrary.ru/patrns/rds_defaults_12.jsary.ru/patrns/rds_defaults_12.jsy.ru/patrns/rds_defaults_12.jsru/patrns/rds_defaults_12.jsns/rds_defaults_12.js/rds_defaults_12.js_defaults_12.jsefaults_12.jsaults_12.jsior.studentlibrary.ru/patrns/rds_defaults2_12.jsr.studentlibrary.ru/patrns/rds_defaults2_12.jsstudentlibrary.ru/patrns/rds_defaults2_12.jsudentlibrary.ru/patrns/rds_defaults2_12.jsentlibrary.ru/patrns/rds_defaults2_12.jsary.ru/patrns/rds_defaults2_12.jsy.ru/patrns/rds_defaults2_12.jsru/patrns/rds_defaults2_12.jsns/rds_defaults2_12.js/rds_defaults2_12.js_defaults2_12.jsefaults2_12.jsaults2_12.jsstudentlibrary.ru/patrns/search_prompts_12.jsudentlibrary.ru/patrns/search_prompts_12.jsentlibrary.ru/patrns/search_prompts_12.jstlibrary.ru/patrns/search_prompts_12.jsibrary.ru/patrns/search_prompts_12.jsru/patrns/search_prompts_12.js/patrns/search_prompts_12.jsatrns/search_prompts_12.jsearch_prompts_12.jsrch_prompts_12.jsprompts_12.jsompts_12.jspts_12.jsior.studentlibrary.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsr.studentlibrary.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsstudentlibrary.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsudentlibrary.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsentlibrary.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsary.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsy.ru/patrns/mb4x_doc2_12.jsru/patrns/mb4x_doc2_12.jsns/mb4x_doc2_12.js/mb4x_doc2_12.jsx_doc2_12.jsdoc2_12.jsc2_12.jsdentlibrary.ru/patrns/CustomEvent_12.jsntlibrary.ru/patrns/CustomEvent_12.jslibrary.ru/patrns/CustomEvent_12.jsbrary.ru/patrns/CustomEvent_12.jsary.ru/patrns/CustomEvent_12.jspatrns/CustomEvent_12.jstrns/CustomEvent_12.jsns/CustomEvent_12.jsomEvent_12.jsEvent_12.jst_12.js12.js.jsentlibrary.ru/patrns/polyfill.min_12.jstlibrary.ru/patrns/polyfill.min_12.jsibrary.ru/patrns/polyfill.min_12.jsrary.ru/patrns/polyfill.min_12.jsry.ru/patrns/polyfill.min_12.jsatrns/polyfill.min_12.jsrns/polyfill.min_12.jss/polyfill.min_12.jsill.min_12.jsl.min_12.jsn_12.js12.js.jsrary.ru/patrns/modernizer-custom_12.jsry.ru/patrns/modernizer-custom_12.js.ru/patrns/modernizer-custom_12.jsu/patrns/modernizer-custom_12.jspatrns/modernizer-custom_12.jsmodernizer-custom_12.jsdernizer-custom_12.jsrnizer-custom_12.jscustom_12.jsstom_12.js_12.js2.jsjsdentlibrary.ru/patrns/slide_menu_12.jsntlibrary.ru/patrns/slide_menu_12.jslibrary.ru/patrns/slide_menu_12.jsbrary.ru/patrns/slide_menu_12.jsary.ru/patrns/slide_menu_12.jspatrns/slide_menu_12.jstrns/slide_menu_12.jsns/slide_menu_12.jse_menu_12.jsmenu_12.js_12.js2.jsjstlibrary.ru/patrns/bootstrap-native_12.jsibrary.ru/patrns/bootstrap-native_12.jsrary.ru/patrns/bootstrap-native_12.jsry.ru/patrns/bootstrap-native_12.js.ru/patrns/bootstrap-native_12.jsrns/bootstrap-native_12.jss/bootstrap-native_12.jsbootstrap-native_12.jsap-native_12.js-native_12.jstive_12.jsipts://prior.studentlibrary.ru/patrns/main_student_12.js/prior.studentlibrary.ru/patrns/main_student_12.jsatrns/main_student_12.jsns/main_student_12.jsript/prior.studentlibrary.ru/patrns/js/app.lang-switch_12.jsior.studentlibrary.ru/patrns/js/app.lang-switch_12.jsr.studentlibrary.ru/patrns/js/app.lang-switch_12.jstudentlibrary.ru/patrns/js/app.lang-switch_12.jss/js/app.lang-switch_12.jss/app.lang-switch_12.jstru/patrns/js/classie_12.jspatrns/js/classie_12.jsie_12.js12.jsriptpt>scriptop-up_ppp_12.jsup_ppp_12.jscriptpt = now.getTime();now.getTime();ction can_SWAP() {on can_SWAP() {.dtexcX17_lock.SWAP.value != '0') {excX17_lock.SWAP.value != '0') { {document.dtexcX17_lock.SWAP.value = '0';AP.value = '0';value = '0';} rm_name,proc_label,fun_id,usr_data) {name,proc_label,fun_id,usr_data) {_SWAP() == false) return;AP() == false) return; return;turn;t.getElementById(frm_name);etElementById(frm_name);ElementById(frm_name);mentById(frm_name);entById(frm_name);ById(frm_name); { alert('call_submit ERROR!\n' + frm_name + '\n' + proc_label + '\n' + fun_id + '\n' + usr_data);return;}alert('call_submit ERROR!\n' + frm_name + '\n' + proc_label + '\n' + fun_id + '\n' + usr_data);return;}m_name + '\n' + proc_label + '\n' + fun_id + '\n' + usr_data);return;}ame + '\n' + proc_label + '\n' + fun_id + '\n' + usr_data);return;}n' + usr_data);return;}+ usr_data);return;}X17.value=proc_label;.value=proc_label;_id.value=fun_id;.value=fun_id;ent.body.scrollTop;.body.scrollTop;op;on call_swap(cgi_cmd_line) {call_swap(cgi_cmd_line) {_SWAP() == false) return;AP() == false) return;ntById('a_dtexcX17');yId('a_dtexcX17');if (el == null) {alert('call_swap: NO iframe dtexcX17'); return;}(el == null) {alert('call_swap: NO iframe dtexcX17'); return;}l == null) {alert('call_swap: NO iframe dtexcX17'); return;}= null) {alert('call_swap: NO iframe dtexcX17'); return;}: NO iframe dtexcX17'); return;}O iframe dtexcX17'); return;}ar tmst = randomX(2000000);tmst = randomX(2000000);ntlibrary.ru/cgi-bin/mb4x?SSr=07E9040F132A7&tmst=' + tmst + cgi_cmd_line + '&procX17=call_swap';ibrary.ru/cgi-bin/mb4x?SSr=07E9040F132A7&tmst=' + tmst + cgi_cmd_line + '&procX17=call_swap';&tmst=' + tmst + cgi_cmd_line + '&procX17=call_swap';st=' + tmst + cgi_cmd_line + '&procX17=call_swap';&procX17=call_swap';ocX17=call_swap';X17=call_swap';=call_swap';);}ge",rds_receiveMessage,false);,rds_receiveMessage,false);(event){ent){document.getElementById( event.data );ument.getElementById( event.data );ent.getElementById( event.data );.getElementById( event.data );t.data );ata ); );}} }ment.getElementById(id);t.getElementById(id);ert('dspid: NO element! (' + id + ')');('dspid: NO element! (' + id + ')');== 1) el.style.display='block';1) el.style.display='block';'block';ock';style.display='none';le.display='none';ction clsid(id,cls) {on clsid(id,cls) { clsid(id,cls) {sid(id,cls) {cument.getElementById(id);ent.getElementById(id); if (el == null) alert('clsid: NO element! (' + id + ')'); NO element! (' + id + ')'); element! (' + id + ')');.className=cls;oll() {() {} e_id,click_id){_id,'*');nChange(){)el.style.visibility='hidden';}}m(new_a){if(uniart_cur_item==new_a)return;if(uniart_cur_item!=''){el=document.getElementById(uniart_cur_item);if(el)el.click();}uniart_cur_item=new_a;} ElementById(uniart_cur_item);if(el)el.click();}uniart_cur_item=new_a;} nEl(elId) {el=document.getElementById(elId);if(el)el.style.display='inline';} d);if(el)el.style.display='inline';} if(el)el.style.display='inline';} (el)el.style.display='inline';} l)el.style.display='inline';} yle.display='inline';} e.display='inline';} isplay='inline';} line';} e';} unction onElb(elId) {el=document.getElementById(elId);if(el)el.style.display='block';} elId) {el=document.getElementById(elId);if(el)el.style.display='block';} ment.getElementById(elId);if(el)el.style.display='block';} nt.getElementById(elId);if(el)el.style.display='block';} tById(elId);if(el)el.style.display='block';} (elId);if(el)el.style.display='block';} lId);if(el)el.style.display='block';} );if(el)el.style.display='block';} f(el)el.style.display='block';} style.display='block';} le.display='block';} block';} ';} } nction offEl(elId) {el=document.getElementById(elId);if(el)el.style.display='none';} (elId) {el=document.getElementById(elId);if(el)el.style.display='none';} Id) {el=document.getElementById(elId);if(el)el.style.display='none';} ment.getElementById(elId);if(el)el.style.display='none';} .getElementById(elId);if(el)el.style.display='none';} etElementById(elId);if(el)el.style.display='none';} lementById(elId);if(el)el.style.display='none';} entById(elId);if(el)el.style.display='none';} f(el)el.style.display='none';} l)el.style.display='none';} isplay='none';} ay='none';} ='none';} one';} ';} n chkel(elId) {el=document.getElementById(elId);if(el)el.checked=true;} hkel(elId) {el=document.getElementById(elId);if(el)el.checked=true;} el=document.getElementById(elId);if(el)el.checked=true;} cument.getElementById(elId);if(el)el.checked=true;} ment.getElementById(elId);if(el)el.checked=true;} t.getElementById(elId);if(el)el.checked=true;} etElementById(elId);if(el)el.checked=true;} Id);if(el)el.checked=true;} ;if(el)el.checked=true;} ecked=true;} =true;} rue;} ;} hkel(elId) {el=document.getElementById(elId);if(el)el.checked=false;} l(elId) {el=document.getElementById(elId);if(el)el.checked=false;} document.getElementById(elId);if(el)el.checked=false;} ent.getElementById(elId);if(el)el.checked=false;} t.getElementById(elId);if(el)el.checked=false;} etElementById(elId);if(el)el.checked=false;} lementById(elId);if(el)el.checked=false;} ;if(el)el.checked=false;} (el)el.checked=false;} ed=false;} lse;} e;} var msepaj = "Y(1)zx21-e11-(u52)---:";= "Y(1)zx21-e11-(u52)---:";Y(1)zx21-e11-(u52)---:";-(u52)---:";)---:";--:";";
Для продолжения работы требуется
Регистрация
Каталог
Издательства
УГС
Мои списки
Скачать приложение
Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники
Оглавление
Введение
Дополнительная зарубежная и отечественная литература по технологиям и маршрутам ИМС
Глава 1. Общие вопросы ХОГФ ТП применительно к ИМС
Глава 2. Тонкие пленки нитрида кремния
Глава 3. Тонкие пленки диоксида кремния
Глава 4. Тонкие пленки силикатных стекол
Глава 5. Анализ патентов по тематике ТП для технологий ИМС
Библиографический список
