Справка
ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Электронная библиотека технического вуза
Все издания
Вход / регистрация
Во весь экран / Свернуть
en
Версия для слабовидящих
Каталог
Все издания
Меню
Искать в книге
К результату поиска
Расширенный поиск
Закладки
На главную
Вход / регистрация
Во весь экран / Свернуть
en
Управление
Мои отчеты
Каталог
Издательства
УГС
Мои списки
Скачать приложение
Процессы и оборудование микротехнологии: Модули 1 и 2
Оборот титула
Оглавление
Предисловие
Введение
Модуль 1. Технологический анализ изделий микротехнологии
+
Модуль 2. Изготовление монокристаллических кремниевых пластин
-
2.1. Кремниевые пластины как объект производства
2.1.1. Электрические параметры
2.1.2. Геометрические параметры
2.2. Получение монокристаллического кремния
2.2.1. Этапы производства кремния
2.2.2. Выращивание монокристаллов
<.2.3. Обработка кремниевых слитков и пластин.3. Обработка кремниевых слитков и пластинбработка кремниевых слитков и пластинработка кремниевых слитков и пластинаботка кремниевых слитков и пластиных слитков и пластинх слитков и пластин слитков и пластинt bdepth2bdepth2epth2th22">a hrefps://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/041.html://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/041.html/prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/041.html/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/041.htmlu/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/041.htmldoc/ISBN9785703848647-SCN0003/041.htmlc/ISBN9785703848647-SCN0003/041.htmlISBN9785703848647-SCN0003/041.htmlBN9785703848647-SCN0003/041.html5703848647-SCN0003/041.html03848647-SCN0003/041.html848647-SCN0003/041.html Термическое оксидирование кремнияермическое оксидирование кремниярмическое оксидирование кремнияческое оксидирование кремнияеское оксидирование кремнияское оксидирование кремнияание кремнияние кремнияие кремния/ISBN9785703848647-SCN0003/041.htmlSBN9785703848647-SCN0003/041.htmlN9785703848647-SCN0003/041.html785703848647-SCN0003/041.html5703848647-SCN0003/041.html03848647-SCN0003/041.html848647-SCN0003/041.html47-SCN0003/041.html-SCN0003/041.htmlCN0003/041.html0003/041.html/041.html41.html.htmll"asss=epth-a3th-a3-a33">.1. Свойства диоксида кремния. Свойства диоксида кремнияСвойства диоксида кремнияlassssTCont-row-sect bdepth3ont-row-sect bdepth3refpth-a3h-a3a3.2. Структура диоксида кремния. Структура диоксида кремнияруктура диоксида кремнияуктура диоксида кремнияктура диоксида кремнияа кремния кремниякремнияремнияемниямнияя<://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/044.html/prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/044.htmlrior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/044.htmlc/ISBN9785703848647-SCN0003/044.htmlISBN9785703848647-SCN0003/044.htmlBN9785703848647-SCN0003/044.htmlрмическим оксидированиеммическим оксидированиемическим оксидированиемческим оксидированиемеским оксидированиемским оксидированиемким оксидированиемм оксидированием оксидированиемоксидированиемсидированиемидированиемрованиемованиемваниемivivclassasssary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/045.htmly.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/045.htmlru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/045.htmldoc/ISBN9785703848647-SCN0003/045.htmlc/ISBN9785703848647-SCN0003/045.htmlISBN9785703848647-SCN0003/045.html5.htmlhtmlmlTCont-row-sect bdepth3ont-row-sect bdepth3t-row-sect bdepth3row-sect bdepth3w-sect bdepth3ct bdepth3 bdepth3depth3pth3="https://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/046.htmlrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/046.htmlry.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/046.html.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/046.htmlu/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/046.htmlru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/046.html/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/046.htmlISBN9785703848647-SCN0003/046.htmlBN9785703848647-SCN0003/046.html9785703848647-SCN0003/046.html.3.5. Модель роста оксида Дила - Гроува (Deal - Grove)Модель роста оксида Дила - Гроува (Deal - Grove)одель роста оксида Дила - Гроува (Deal - Grove)дель роста оксида Дила - Гроува (Deal - Grove)да Дила - Гроува (Deal - Grove)а Дила - Гроува (Deal - Grove) Дила - Гроува (Deal - Grove)f="https://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/051.htmltps://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/051.htmls://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/051.htmlprior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/051.htmlior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/051.htmludentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/051.htmlentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/051.htmltlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/051.html785703848647-SCN0003/051.html5703848647-SCN0003/051.html03848647-SCN0003/051.html848647-SCN0003/051.html8647-SCN0003/051.html47-SCN0003/051.htmlN0003/051.html003/051.html3/051.htmlшленная реализация термического оксидированияленная реализация термического оксидированияенная реализация термического оксидированияая реализация термического оксидированияя реализация термического оксидирования реализация термического оксидированиямического оксидированияического оксидированияческого оксидированияpth2h2reff=https://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/054.htmltps://prior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/054.htmlprior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/054.htmlior.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/054.htmlr.studentlibrary.ru/ru/doc/ISBN9785703848647-SCN0003/054.htmloc/ISBN9785703848647-SCN0003/054.html/ISBN9785703848647-SCN0003/054.htmlSBN9785703848647-SCN0003/054.htmlN9785703848647-SCN0003/054.html785703848647-SCN0003/054.html5703848647-SCN0003/054.html48647-SCN0003/054.html647-SCN0003/054.html7-SCN0003/054.htmlчениеениение
Close Menu
>
Close Menu
Close Menu
div class='wrap-ssp-message container'>
v class='wrap-ssp-message container'>
class='wrap-ssp-message container'>
ass='wrap-ssp-message container'>
s='wrap-ssp-message container'>
'wrap-ssp-message container'>
rap-ssp-message container'>
ssp-message container'>
p-message container'>
message container'>
ssage container'>
e container'>
container'>
ntainer'>
ner'>
r'>
v class="wrap-ssp">class="wrap-ssp">ass="wrap-ssp">/div>
iv>
>
iv class='wrap-err-message container'>
ass='wrap-err-message container'>
s='wrap-err-message container'>
'wrap-err-message container'>
v> iv id="main_content_doc">
Раздел
id="main_content_doc">
Раздел
d="main_content_doc">
Раздел
class="test-block1">
Раздел
lass="test-block1">
Раздел
ss="test-block1">
Раздел
ght-column text-part-reader">
Раздел
t-column text-part-reader">
Раздел
column text-part-reader">
Раздел
lumn text-part-reader">
Раздел
mn text-part-reader">
Раздел
text-part-reader">
Раздел
t-part-reader">
Раздел
part-reader">
Раздел
eader">
Раздел
der">
Раздел
r">
Раздел
p-quantity-title">
Раздел
quantity-title">
Раздел
antity-title">
Раздел
tity-title">
Раздел
ty-title">
Раздел
-title">
Раздел
e">
Раздел
>
Раздел
Раздел
Раздел
Раздел
Раздел
pan class="name-heads">Раздел
n class="name-heads">Раздел
class="name-heads">Раздел
л
/span>
div class="wrap-pages-reader">
Страница
v class="wrap-pages-reader">
Страница
class="wrap-pages-reader">
Страница
ass="wrap-pages-reader">
Страница
s="wrap-pages-reader">
Страница
"wrap-pages-reader">
Страница
rap-pages-reader">
Страница
pages-reader">
Страница
ges-reader">
Страница
s-reader">
Страница
ader">
Страница
er">
Страница
Страница
Страница
Страница
eads">Страница
ds">Страница
">Страница
Страница
траница
раница
ица
ца
а
/div>
iv>
>
div>Изготовление монокристаллических кремниевых пластинзготовление монокристаллических кремниевых пластинготовление монокристаллических кремниевых пластин
/div> iv> > v ontouchmovefingers(event)ngers(event)ers(event)s(event)event)ent)">"wrap-pagination-links-top">
rap-pagination-links-top">
p-pagination-links-top">
nation-links-top">
tion-links-top">
on-links-top">
"wrap-modes col-md-3 col-sm-3 col-xs-3 va-m">
rap-modes col-md-3 col-sm-3 col-xs-3 va-m">
p-modes col-md-3 col-sm-3 col-xs-3 va-m">
tion-book circle animated-effect">
on-book circle animated-effect">
-book circle animated-effect">
ook circle animated-effect">
k circle animated-effect">
circle animated-effect">
rcle animated-effect">
animated-effect">
nimated-effect">
mated-effect">
d-effect">
effect">
">
-mode"> ode"> e"> > /-esf2k2z11-tabrel-mode-pgs.htmlesf2k2z11-tabrel-mode-pgs.htmlf2k2z11-tabrel-mode-pgs.html1-tabrel-mode-pgs.htmltabrel-mode-pgs.htmlbrel-mode-pgs.htmlrcaltt="Режим постраничного просмотраежим постраничного просмотражим постраничного просмотрам постраничного просмотра постраничного просмотраостраничного просмотрастраничного просмотрараничного просмотрааничного просмотраничного просмотрачного просмотраного просмотрао просмотра просмотрапросмотраitleleежим постраничного просмотраим постраничного просмотрам постраничного просмотра постраничного просмотра
/
div class="delimiter"> /
v class="delimiter"> /
s="delimiter"> /
"delimiter"> /
elimiter"> /
class="wrap-landing-mode"> lass="wrap-landing-mode"> ss="wrap-landing-mode"> nding_mode_gr.pnging_mode_gr.pngg_mode_gr.pngmode_gr.pngde_gr.png_gr.pngpnggaltt=">
§ 54. Порядок государственной регистрации нормативных правовых актов федеральных органов исполнительной власти
§ 55. Порядок опубликования и вступления в силу указов и распоряжений Президента Российской Федерации, постановлений и распоряжений Правительства Российской Федерации и нормативных правовых актов федеральных органов исполнительной власти
§ 56. Порядок подготовки Правительством Российской Федерации заключений по проектам законов
§ 57. Порядок подготовки федеральными органами исполнительной власти проектов заключений, поправок к проектам федеральных законов и проектов официальных отзывов Правительства Российской Федерации на законопроекты
§ 58. Порядок подготовки документов, образующихся в федеральных органах исполнительной власти при рассмотрении проектов актов, поступивших на согласование
§ 59. Порядок подготовки федеральными органами исполнительной власти ответов на парламентские запросы, запросы и обращения членов Совета Федерации Федерального Собрания Российской Федерации и депутатов Государственной Думы Федерального Собрания Российской Федерации
§ 60. Документы федеральных органов исполнительной власти, относящиеся к законотворческой или нормотворческой деятельности, но не носящие нормативный характер
Глава 11. Организационно-правовые документы
§ 61. Общие положения
§ 62. Учредительный договор
§ 63. Устав организации
§ 64. Положение об организации
§ 65. Структура и штатная численность
§ 66. Штатное расписание
§ 67. Положение о структурном подразделении
§ 68. Должностная инструкция
§ 69. Инструкция
§ 70. Правила
§ 71. Положение
Глава 12. Распорядительные документы
§ 72. Общие положения
§ 73. Приказ по основной деятельности и выписка из приказа по основной деятельности
§ 74. Распоряжение
§ 75. Протокол и выписка из протокола
Глава 13. Информационно-справочные документы
§ 76. Общие положения
§ 77. Записка
§ 78. Служебное письмо
§ 79. Телеграмма
§ 80. Акт (как вид документа юридического лица)
§ 81. Протокол переговоров
§ 82. Справка
§ 83. Заключение
§ 84. Отзыв
Глава 14. Документы физических лиц
§ 85. Общие положения
§ 86. Предложение
§ 87. Заявление
§ 88. Жалоба
Заключение
Список источников
Приложения
+