Справка
x
ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Электронная библиотека технического вуза
Все издания
Вход / регистрация
Во весь экран / Свернуть
en
Версия для слабовидящих
Каталог
Все издания
Меню
Искать в книге
К результату поиска
Расширенный поиск
Закладки
На главную
Вход / регистрация
Во весь экран / Свернуть
en
Управление
Мои отчеты
Каталог
Издательства
УГС
Мои списки
Скачать приложение
Введение в микросистемную технику
Оборот титула
Оглавление
Введение
1. Принципы функционирования и особенности проектирова" ния МЭМС
2. Конструкционные материалы
-
2.1. Термическое окисление
2.2. Химическое осаждение из газовой фазы
2.3. Физическое осаждение
2.3.1. Термовакуумное испарение и осаждение
2.3.2. Катодное распыление
2.4. Электрохимическое осаждение
3. Технологии микромеханики
+
4. Датчики и исполнительные устройства
+
Контрольные вопросы
Литература
Close Menu
Раздел
3
/
7
Страница
2
/
7
2. Конструкционные материалы
/
/
Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Для продолжения работы требуется
Регистрация
Каталог
Издательства
УГС
Мои списки
Скачать приложение
Введение в микросистемную технику
Оглавление
Введение
1. Принципы функционирования и особенности проектирова" ния МЭМС
2. Конструкционные материалы
-
2.1. Термическое окисление
2.2. Химическое осаждение из газовой фазы
2.3. Физическое осаждение
2.3.1. Термовакуумное испарение и осаждение
2.3.2. Катодное распыление
2.4. Электрохимическое осаждение
3. Технологии микромеханики
+
4. Датчики и исполнительные устройства
+
Контрольные вопросы
Литература
