Справка
STUDENT'S CONSULTANT
Электронная библиотека технического вуза
Все издания
Login/Registration
Во весь экран / Свернуть
ru
Accessibility
General Catalogue
Все издания
Menu
Искать в книге
К результату поиска
Advanced search
Bookmarks
Homepage
Login/Registration
Во весь экран / Свернуть
ru
Раздел
3
/
8
Страница
1
/
23
1. Основы электронных, ионных и плазменных технологий. Нанесение тонких пленок в вакууме
/
/
Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Для продолжения работы требуется
Registration
Управление
My reports
General Catalogue
Издательства
УГС
Мои списки
Download app
Формирование функциональных слоев
Оборот титула
Table of contents
Предисловие
Введение
1. Основы электронных, ионных и плазменных технологий. Нанесение тонких пленок в вакууме
2. Расчет режимов нанесения тонких пленок в вакууме
3. Вакуумно-плазменное травление и ионно-лучевая обработка
4. Измерения и контроль в вакууме
5. Перспективы элионных технологий
Интернет-источники
Close Menu