eta="viewporttentntth=device-width, initial-scale=1=device-width, initial-scale=1evice-width, initial-scale=1dth, initial-scale=1h, initial-scale=1 initial-scale=1nitial-scale=1tial-scale=1scale=1ale=1refhttps://prior.studentlibrary.rutps://prior.studentlibrary.rus://prior.studentlibrary.ruTITLETLEE>4. Измерения и контроль в вакуумезмерения и контроль в вакуумемерения и контроль в вакуумеения и контроль в вакуумения и контроль в вакуумеия и контроль в вакуумекуумеуумеумемее/TITLEry.ru/cgi-bin/mb4x.ru/cgi-bin/mb4xu/cgi-bin/mb4xbin/mb4xn/mb4xmb4x4xar THISAPP_IS_CLIENT= THISAPP_IS_CLIENT=S_CLIENT=eEN_mode=false; type="text/javascript"> /*09.03 Yandex.Metrika */ (function(m,e,t,r,i,k,a){m[i]=m[i]||function(){(m[i].a=m[i].a||[]).push(arguments)}; m[i].l=1*new Date();k=e.createElement(t),a=e.getElementsByTagName(t)[0],k.async=1,k.src=r,a.parentNode.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true }); ="text/javascript"> /*09.03 Yandex.Metrika */ (function(m,e,t,r,i,k,a){m[i]=m[i]||function(){(m[i].a=m[i].a||[]).push(arguments)}; m[i].l=1*new Date();k=e.createElement(t),a=e.getElementsByTagName(t)[0],k.async=1,k.src=r,a.parentNode.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true }); /*09.03 Yandex.Metrika */ (function(m,e,t,r,i,k,a){m[i]=m[i]||function(){(m[i].a=m[i].a||[]).push(arguments)}; m[i].l=1*new Date();k=e.createElement(t),a=e.getElementsByTagName(t)[0],k.async=1,k.src=r,a.parentNode.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true }); 3 Yandex.Metrika */ (function(m,e,t,r,i,k,a){m[i]=m[i]||function(){(m[i].a=m[i].a||[]).push(arguments)}; m[i].l=1*new Date();k=e.createElement(t),a=e.getElementsByTagName(t)[0],k.async=1,k.src=r,a.parentNode.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true }); ndex.Metrika */ (function(m,e,t,r,i,k,a){m[i]=m[i]||function(){(m[i].a=m[i].a||[]).push(arguments)}; m[i].l=1*new Date();k=e.createElement(t),a=e.getElementsByTagName(t)[0],k.async=1,k.src=r,a.parentNode.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true }); ,e,t,r,i,k,a){m[i]=m[i]||function(){(m[i].a=m[i].a||[]).push(arguments)}; m[i].l=1*new Date();k=e.createElement(t),a=e.getElementsByTagName(t)[0],k.async=1,k.src=r,a.parentNode.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true }); ,t,r,i,k,a){m[i]=m[i]||function(){(m[i].a=m[i].a||[]).push(arguments)}; m[i].l=1*new Date();k=e.createElement(t),a=e.getElementsByTagName(t)[0],k.async=1,k.src=r,a.parentNode.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true }); ,r,i,k,a){m[i]=m[i]||function(){(m[i].a=m[i].a||[]).push(arguments)}; m[i].l=1*new Date();k=e.createElement(t),a=e.getElementsByTagName(t)[0],k.async=1,k.src=r,a.parentNode.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true }); a){m[i]=m[i]||function(){(m[i].a=m[i].a||[]).push(arguments)}; m[i].l=1*new Date();k=e.createElement(t),a=e.getElementsByTagName(t)[0],k.async=1,k.src=r,a.parentNode.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true }); {m[i]=m[i]||function(){(m[i].a=m[i].a||[]).push(arguments)}; m[i].l=1*new Date();k=e.createElement(t),a=e.getElementsByTagName(t)[0],k.async=1,k.src=r,a.parentNode.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(87744885, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true, webvisor:true }); scriptriptsrcc"https://prior.studentlibrary.ru/patrns/rds_defaults2_12.jstps://prior.studentlibrary.ru/patrns/rds_defaults2_12.jscriptcriptrcttps://prior.studentlibrary.ru/patrns/search_prompts_12.js">
et="#bs-example-navbar-collapse-1"> Menu
ref="https://prior.studentlibrary.ru/" id='a_HOME-1' class="general-link-student">Homepage
https://prior.studentlibrary.ru/" id='a_HOME-1' class="general-link-student">Homepage
tps://prior.studentlibrary.ru/" id='a_HOME-1' class="general-link-student">Homepage
prior.studentlibrary.ru/" id='a_HOME-1' class="general-link-student">Homepage
ior.studentlibrary.ru/" id='a_HOME-1' class="general-link-student">Homepage
r.studentlibrary.ru/" id='a_HOME-1' class="general-link-student">Homepage
y.ru/" id='a_HOME-1' class="general-link-student">Homepage
ru/" id='a_HOME-1' class="general-link-student">Homepage
/" id='a_HOME-1' class="general-link-student">Homepage
OME-1' class="general-link-student">Homepage
E-1' class="general-link-student">Homepage
1' class="general-link-student">Homepage
ass="general-link-student">Homepage
s="general-link-student">Homepage
href="https://prior.studentlibrary.ru/en/cur_user/entry.html"> Login/Registration
href="https://prior.studentlibrary.ru/en/cur_user/entry.html"> Login/Registration
ms wrap-socials"> "nav navbar-nav va-m">
  • nav navbar-nav va-m">
  • hreffile=studentlibrary2&custom_pat_id=doc.main_frame.(id)&custom_pat_use_id=atlas_docle=studentlibrary2&custom_pat_id=doc.main_frame.(id)&custom_pat_use_id=atlas_doc=studentlibrary2&custom_pat_id=doc.main_frame.(id)&custom_pat_use_id=atlas_doctudentlibrary2&custom_pat_id=doc.main_frame.(id)&custom_pat_use_id=atlas_doctlibrary2&custom_pat_id=doc.main_frame.(id)&custom_pat_use_id=atlas_docibrary2&custom_pat_id=doc.main_frame.(id)&custom_pat_use_id=atlas_docrary2&custom_pat_id=doc.main_frame.(id)&custom_pat_use_id=atlas_docутьтььalt="Увеличить шрифт" title="Увеличить шрифт" onclick='{font_inc(); return false; }'>
  • t="Увеличить шрифт" title="Увеличить шрифт" onclick='{font_inc(); return false; }'>
  • "Увеличить шрифт" title="Увеличить шрифт" onclick='{font_inc(); return false; }'>
  • личить шрифт" title="Увеличить шрифт" onclick='{font_inc(); return false; }'>
  • ичить шрифт" title="Увеличить шрифт" onclick='{font_inc(); return false; }'>
  • чить шрифт" title="Увеличить шрифт" onclick='{font_inc(); return false; }'>
  • ифт" title="Увеличить шрифт" onclick='{font_inc(); return false; }'>
  • фт" title="Увеличить шрифт" onclick='{font_inc(); return false; }'>
  • т" title="Увеличить шрифт" onclick='{font_inc(); return false; }'>
  • click='{font_inc(); return false; }'>
  • ick='{font_inc(); return false; }'>
  • k='{font_inc(); return false; }'>
  • '{font_inc(); return false; }'>
  • font_inc(); return false; }'>
  • anguage_switchguage_switch_switchwitchtch
  • /div>
    div class="collapse-basket"> class="collapse-basket">lass="collapse-basket">ss="collapse-basket">="collapse-basket">collapse-basket">av>
    v>
    div id="slide_menu" class="menu-wrap">
    /div>iv>id="menu_left_catalogue" class="wrap-main-link-calogue"> ="menu_left_catalogue" class="wrap-main-link-calogue"> menu_left_catalogue" class="wrap-main-link-calogue"> atalogue" class="wrap-main-link-calogue"> alogue" class="wrap-main-link-calogue"> ogue" class="wrap-main-link-calogue"> class="wrap-main-link-calogue"> lass="wrap-main-link-calogue"> ink-catalogue"> General Catalogue ogue"> General Catalogue General Catalogue General Catalogue v class="wrap-but-d">Download app
    .studentlibrary.ru/en/cur_user.html" class="btn btn-download btn-animated in-title">Download app
    вание функциональных слоевание функциональных слоевние функциональных слоевие функциональных слоевфункциональных слоевункциональных слоевнкциональных слоевass="wrap-turnover-title">s="wrap-turnover-title">"wrap-turnover-title">ubmit('frm_rds','rds','rds|rds','swap(book_title,popup_image,book,,,,ISBN9785703853504,book_title)');}return false;}mit('frm_rds','rds','rds|rds','swap(book_title,popup_image,book,,,,ISBN9785703853504,book_title)');}return false;}t('frm_rds','rds','rds|rds','swap(book_title,popup_image,book,,,,ISBN9785703853504,book_title)');}return false;}'frm_rds','rds','rds|rds','swap(book_title,popup_image,book,,,,ISBN9785703853504,book_title)');}return false;}rm_rds','rds','rds|rds','swap(book_title,popup_image,book,,,,ISBN9785703853504,book_title)');}return false;}_image,book,,,,ISBN9785703853504,book_title)');}return false;}image,book,,,,ISBN9785703853504,book_title)');}return false;}age,book,,,,ISBN9785703853504,book_title)');}return false;}e,book,,,,ISBN9785703853504,book_title)');}return false;}book,,,,ISBN9785703853504,book_title)');}return false;},,,ISBN9785703853504,book_title)');}return false;},ISBN9785703853504,book_title)');}return false;}SBN9785703853504,book_title)');}return false;}BN9785703853504,book_title)');}return false;}9785703853504,book_title)');}return false;}85703853504,book_title)');}return false;}504,book_title)');}return false;}4,book_title)');}return false;}book_title)');}return false;}ents
    ts
    ss="table-of-contents">="table-of-contents">table-of-contents">ble-of-contents">e-of-contents">-of-contents">785703853504-SCN00005703853504-SCN0000853504-SCN00003504-SCN0000CN0000000000ttps://prior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0000.htmlps://prior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0000.html/prior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0000.htmlrior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0000.htmltudentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0000.htmldentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0000.htmlntlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0000.html/doc/ISBN9785703853504-SCN0000.htmloc/ISBN9785703853504-SCN0000.html/ISBN9785703853504-SCN0000.htmlBN9785703853504-SCN0000.html9785703853504-SCN0000.html85703853504-SCN0000.htmls="bTCont-row-doc-aCont-row-doc-ant-row-doc-aw-doc-adoc-ac-aont-row-doct-row-docrow-docc" SBN9785703853504-SCN0001N9785703853504-SCN0001785703853504-SCN0001ref="https://prior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0001.htmls://prior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0001.html//prior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0001.htmlr.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0001.htmlstudentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0001.htmludentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0001.html/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0001.htmln/doc/ISBN9785703853504-SCN0001.htmldoc/ISBN9785703853504-SCN0001.html/ISBN9785703853504-SCN0001.htmlSBN9785703853504-SCN0001.htmlN9785703853504-SCN0001.htmllassssTCont-row-doc-a-row-doc-aow-doc-a-doc-a-row-docow-doc-docd9785703853504-SCN000285703853504-SCN0002703853504-SCN0002//prior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0002.htmlprior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0002.htmlior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0002.htmlr.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0002.htmlstudentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0002.htmludentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0002.htmlentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0002.htmlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0002.htmlrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0002.htmlry.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0002.htmlu/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0002.htmlen/doc/ISBN9785703853504-SCN0002.html/ISBN9785703853504-SCN0002.htmlSBN9785703853504-SCN0002.htmlN9785703853504-SCN0002.htmlSCN0002.htmlN0002.html002.html.htmltmll">1. Основы электронных, ионных и плазменных технологий. Нанесение тонких пленок в вакууме Основы электронных, ионных и плазменных технологий. Нанесение тонких пленок в вакуумесновы электронных, ионных и плазменных технологий. Нанесение тонких пленок в вакууменовы электронных, ионных и плазменных технологий. Нанесение тонких пленок в вакуумевы электронных, ионных и плазменных технологий. Нанесение тонких пленок в вакуумеы электронных, ионных и плазменных технологий. Нанесение тонких пленок в вакууме электронных, ионных и плазменных технологий. Нанесение тонких пленок в вакуумеологий. Нанесение тонких пленок в вакуумелогий. Нанесение тонких пленок в вакуумеогий. Нанесение тонких пленок в вакуумей. Нанесение тонких пленок в вакууме. Нанесение тонких пленок в вакуумеНанесение тонких пленок в вакууме тонких пленок в вакууметонких пленок в вакуумеонких пленок в вакуумеivivssTCont-row-docont-row-doct-row-docd="TCont-ISBN9785703853504-SCN0003ont-ISBN9785703853504-SCN0003t-ISBN9785703853504-SCN0003reff=ttps://prior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0003.htmlps://prior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0003.html://prior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0003.htmllassssTCont-row-doc-aont-row-doc-at-row-doc-a. Расчет режимов нанесения тонких пленок в вакуумеРасчет режимов нанесения тонких пленок в вакуумеасчет режимов нанесения тонких пленок в вакууменок в вакуумеок в вакуумек в вакууме в вакууме вакуумевакуумеакуумеуумеумемеclassasssTCont-row-docSBN9785703853504-SCN0004N9785703853504-SCN0004785703853504-SCN00045703853504-SCN000403853504-SCN0004853504-SCN00044-SCN0004SCN0004N000485703853504-SCN0004.html703853504-SCN0004.html3853504-SCN0004.html4-SCN0004.htmlSCN0004.htmlN0004.htmlasss=равление и ионно-лучевая обработкаавление и ионно-лучевая обработкавление и ионно-лучевая обработкаление и ионно-лучевая обработкаение и ионно-лучевая обработкание и ионно-лучевая обработкаие и ионно-лучевая обработка и ионно-лучевая обработка ионно-лучевая обработкаионно-лучевая обработканно-лучевая обработкано-лучевая обработкаучевая обработкачевая обработкаевая обработкааботкаботкаоткаткакааs="bTCont-row-docCont-row-docnt-row-docw-docdocc://prior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0005.html/prior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0005.htmlrior.studentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0005.htmltudentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0005.htmldentlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0005.htmlntlibrary.ru/en/doc/ISBN9785703853504-SCN0005.htmloc/ISBN9785703853504-SCN0005.html/ISBN9785703853504-SCN0005.htmlSBN9785703853504-SCN0005.html в вакуумев вакууме вакуумеакуумекуумеуумеумееdivv>Cont-row-docnt-row-doc-row-doc85703853504-SCN0006703853504-SCN00063853504-SCN000653504-SCN0006504-SCN00064-SCN0006000606853504-SCN0006.html3504-SCN0006.html04-SCN0006.html0006.html06.html.htmlTCont-row-doc-a"close-button">Close Menu
    lose-button">Close Menu
    se-button">Close Menu
    -button">Close Menu
    utton">Close Menu
    ton">Close Menu
    n">Close Menu
    lose Menu
    se Menu
    Menu
    u
    /button>
    n>
    v id="errors_ok" class="plus-cont">
    id="errors_ok" class="plus-cont">
    ="errors_ok" class="plus-cont">
    rrors_ok" class="plus-cont">
    ors_ok" class="plus-cont">
    s_ok" class="plus-cont">
    lass='wrap-ssp-message container'>
    ss='wrap-ssp-message container'>
    ='wrap-ssp-message container'>
    wrap-ssp-message container'>
    ap-ssp-message container'>
    -ssp-message container'>
    message container'>
    ssage container'>
    age container'>
    -err-message container'>
    rr-message container'>
    -message container'>
    ge container'>
    container'>
    ontainer'>
    div>
    v>
    class="wrapper-book-main">
    Раздел ass="wrapper-book-main">
    Раздел s="wrapper-book-main">
    Раздел "wrapper-book-main">
    Раздел rapper-book-main">
    Раздел pper-book-main">
    Раздел er-book-main">
    Раздел ook-main">
    Раздел k-main">
    Раздел main">
    Раздел ">
    Раздел
    Раздел iv class="container">
    Раздел class="container">
    Раздел lass="container">
    Раздел ">
    Раздел
    Раздел
    Раздел
    Раздел
    Раздел
    Раздел l-xs-12 right-column text-part-reader">
    Раздел xs-12 right-column text-part-reader">
    Раздел -12 right-column text-part-reader">
    Раздел 2 right-column text-part-reader">
    Раздел right-column text-part-reader">
    Раздел ght-column text-part-reader">
    Раздел olumn text-part-reader">
    Раздел umn text-part-reader">
    Раздел n text-part-reader">
    Раздел class="shown-pages">
    Раздел lass="shown-pages">
    Раздел ss="shown-pages">
    Раздел own-pages">
    Раздел n-pages">
    Раздел pages">
    Раздел div class="wrap-heads-reader"> Раздел v class="wrap-heads-reader"> Раздел class="wrap-heads-reader"> Раздел an> > pan class="cur-num">n class="cur-num">class="cur-num">ass="cur-num">"cur-num">ur-num">-num">">pan> / n> / / pan>
    Страница n>
    Страница
    Страница
    Страница
    Страница
    Страница ader"> Страница er"> Страница "> Страница Страница Страница Страница Страница Страница pan class="name-heads">Страница 1 / span> / / pan>span>
    На первую страницу
    На предыдущую главу
    На следующую главу
    На последнюю страницу
    Озвучивание недоступно
    /
    Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.Режим постраничного просмотра
    Для продолжения работы требуется Registration