Раздел 2 / 5

Страница 37 / 43

Глава 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Registration

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Неравновесная плазма хлора: свойства и применение

Table of contents

Введение +

Глава 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов -

§ 1.1. Общая характеристика экспериментальных установок и оборудования

§ 1.2. Получение газов и приготовление газовых смесей

§ 1.3. Определение температуры нейтральных невозбужденных частиц

§ 1.4. Определение приведенной напряженности электрического поля

§ 1.5. Измерение концентраций нейтральных невозбужденных частиц

§ 1.6. Измерение плотности потока положительных ионов на стенку реактора

§ 1.7. Объекты исследования и измерение скоростей травления

§ 1.8. Моделирование плазмы

§ 1.9. Гетерогенные процессы травления в условиях ННГП: основные понятия и подходы к анализу

Литература

Глава 2. Параметры плазмы и закономерности образования и гибели активных частиц при разряде в хлоре +

Глава 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2 и O2 +

Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu, GaAs и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2 и O2 +