Раздел 3 / 6

Страница 15 / 28

2. Вакуумные насосы

Режим постраничного просмотра

/

На первую страницу

На предыдущую главу

На следующую главу

На последнюю страницу

Озвучивание недоступно

/

Внимание! Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Режим постраничного просмотра

Для продолжения работы требуется Регистрация

На предыдущую главу

На следующую главу

Скачать приложение

Основы конструирования вакуумных плазменных установок

Оглавление

Введение

1. Основные понятия вакуумной техники: быстрота откачки, быстрота действия, сопротивление и проводимость трубопровода +

2. Вакуумные насосы -

2.1. Роторно-пластинчатый насос

2.2. Спиральный насос

2.3. Мембранный (диафрагменный) насос

2.4. Насос Рутса

2.5. Диффузионный насос

2.6. Турбомолекулярный насос

2.7. Криогенный насос

3. Потоки нейтральных и заряженных частиц в плазменном PVD-процессе +

4. Откачка вакуумных систем

Литература