Глава VII. Материальное стимулирование труда работников предприятия питания

Скачать приложение

Современное технологическое оборудование для микроэлектроники

Оглавление

ПРИНЯТЫЕ СОКРАЩЕНИЯ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ +

ГЛАВА 2. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ +

ГЛАВА 3. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН В ПЛАЗМЕ +

ГЛАВА 4. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СЛОЕВ -

4.1. Горизонтальная диффузионная печь SVFUR-FP

4.2. Модульная вертикальная печь A400XT

4.3. Стационарный одноканальный измеритель микровлажности газов (гигрометр) ИВГ-1-С-2А

4.4. Установка осаждения диэлектрических слоев "Изоплаз-150"

4.5. Установка термокомпрессионного окисления в парах воды "Термоком-М"

4.6. Установка осаждения слоев нитрида кремния и поликристаллического кремния "Изотрон 4-150"

ГЛАВА 5. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ СБОРКИ И ЗАКЛЮЧИТЕЛЬНЫХ ОПЕРАЦИЙ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ +

ЛИТЕРАТУРА